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谢仿卿
作品数:
4
被引量:6
H指数:2
供职机构:
中国科学院物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
一般工业技术
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合作作者
张青哲
中国科学院物理研究所
王恩哥
中国科学院物理研究所
孙牧
中国科学院物理研究所
陈友存
中国科学院物理研究所
钟定永
中国科学院物理研究所
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中国科学院
作者
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谢仿卿
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张青哲
1篇
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1篇
林彰达
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孙永昌
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陈友存
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王恩哥
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自然科学进展...
年份
1篇
2004
1篇
1999
1篇
1998
1篇
1997
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表面科学研究回顾与21世纪发展展望
被引量:4
1999年
表面与界面是材料物理、化学性质发生空间突变的二维区域,材料的许多重要物理、化学过程首先发生在表面,同时材料的很多破坏和失效也首先起源于表面和界面.因此,表面是材料与外部环境直接发生联系的窗口,从研究材料表面界面的各种物理化学过程入手最终可以达到改变材料性能的目的.过去10年中,材料表面科学在促进材料科学基础研究、推动新材料新技术发展中发挥了关键作用.世纪之交乃至下一世纪,表面科学将面临新的挑战和机遇,这一方面是来自工业技术革命的需要,另一方面则来自科学发展自身的动力.文章着重对近10年来表面科学取得的重要成果进行回顾。
孙牧
谢仿卿
王恩哥
金刚石晶形显露的化学控制
被引量:2
1998年
采用热丝化学气相沉积法(HPCV),研究了N2、O2对金刚石晶形显露的影响。发现微量的氮气的加入([N2]/[CH4]<1%)有利于金刚石(100)晶面的显露,且不会降低金刚石晶形的完整性;微量氧的加入有利于金刚石(111)面显露.采用氧辅助控制金刚石膜(111)织构生长,可以使X射线(111)峰摇摆曲线的半宽降到6.2°.氮或氧的加入扩大了织构生长金刚石(100)或(111)膜的基片温度范围.
陈友存
谢仿卿
张青哲
林章达
关键词:
金刚石
晶形
纳米碳化硅薄膜的制备、稀土掺杂及光电发射特性
刘技文
孙永昌
赵燕平
谢仿卿
姚裕贵
钟定永
陈民芳
赵捷
王治
系统研究了SiC非晶薄膜的退火晶化过程,成功制备出了SiC纳米晶颗粒薄膜。用Auger、XPS分析了薄膜的成分,用XRD、XPS和FTIR研究了非晶薄膜的晶化温度,HRTEM观察和XRD线宽法计算证明:依退火条件不同Si...
关键词:
关键词:
稀土掺杂
光电发射
近表面辉光放电促进金刚石在镜面抛光硅表面的形核
1997年
近表面辉光放电实现了在镜面抛光硅表面的高密度形核。形核时间可以缩短到3min;形核密度可达>10^(10)/cm^2。用原子力显微镜观察近表面辉光放电法和负偏压法处理的基片表面形貌,观察结果表明近表面辉光放电法极大地避免了正、负离子轰击造成样品表面的破坏。放电产生的高密度原子氢和碳氢化合物活性粒子是这种方法高密度形核的关键因素。
谢仿卿
张青哲
林彰达
关键词:
金刚石
形核
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