杨旭
- 作品数:7 被引量:12H指数:2
- 供职机构:合肥工业大学更多>>
- 发文基金:安徽省自然科学基金安徽省高校省级自然科学研究项目教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>
- LPCVD制备多晶Si薄膜的工艺和性能分析被引量:1
- 2012年
- 文章利用低压化学气相沉积法(LPCVD),在单晶Si衬底上制备多晶Si薄膜。利用原子力显微镜观察薄膜厚度和镀膜温度对多晶Si薄膜表面形貌的影响,并利用XRD研究退火温度对多晶Si薄膜结晶性能的影响。结果表明:镀膜温度越高、薄膜越厚,薄膜的晶粒尺寸越大;退火温度越高,薄膜的结晶越好。
- 胡佳宝何晓雄杨旭
- 关键词:多晶硅薄膜表面形貌X射线衍射
- 开放式数控火焰切割机系统的研究与开发
- 随着现代工业的发展,板材的切割加工已成为生产中的一道重要工序。数控火焰切割机由于其效率高,切割质量好,成本低等优点受到众多机械加工企业的青睐。然而,国产的数控火焰切割机普遍存在开放性不足、自动化程度低、系统功能不够完善、...
- 杨旭
- 关键词:火焰切割机图形自动编程运动控制卡开放式数控系统人机界面
- 文献传递
- 硅基底的CVD扩磷工艺研究
- 2014年
- 文章利用化学气相沉积(CVD)扩磷的方法,在单晶硅基底上进行扩磷工艺研究。采用X射线光电子能谱分析扩磷硅基底,通过原子力显微镜观察扩磷时间和温度对硅基底表面形貌的影响,并利用半导体特性测试仪研究扩磷时间和温度对硅基底I-V特性的影响。结果表明,扩磷温度和时间对硅基底的表面粗糙度和晶粒的平均尺寸影响较大,扩磷时间越长、温度越高,硅基底的电学特性越明显。
- 杨旭何晓雄胡冰冰马志敏
- 关键词:硅基底表面形貌化学气相沉积VAPOUR
- 面向运维服务的装备MRO知识管理系统研究被引量:5
- 2014年
- 为提高知识管理的效率,实现精益维修的目标,文章在分析装备MRO知识特点的基础上,围绕运维服务对MRO知识的需求,提出了装备MRO知识管理体系。针对不同MRO知识的特点,建立了基于装备结构层次的知识体系,分别围绕维修规程、维修资源、维修历史和维修案例等MRO知识建立知识模型;构建了以维修BOM为核心的MRO知识组织方式,实现对类型繁多、结构复杂、动态变化的知识的有效管理;并围绕不同运维服务,面向应用领域构建了基于本体的知识管理框架和知识视图,实现了全面的MRO知识综合运用。最后,基于以上方法和模型,进行了车辆运维知识管理系统的开发和应用。
- 任明仑杨旭付杰
- 关键词:知识表示知识组织本体知识管理系统
- 一种基于超表面的残余应力测量方法
- 本发明公开了一种基于超表面的残余应力测量方法,其步骤包括:首先计算出所用的超构表面超元胞的参数和排列方式,然后通过测量应力双折射的光学系统得到四种不同角度偏振下的光强。即通过四步相移法得到被测样品单点的相位延迟量及快轴方...
- 张勇杨旭
- 软件定义网络中一致性流更新问题研究
- 网络技术的快速发展为当代社会的人们提供了更加便捷和优质的生活。然而,随着网络规模的日益增大,网络的管理和维护任务也变得日趋复杂。传统网络架构在当前的网络发展形势下正面临着前所未有的挑战,如相对封闭、管理不灵活和过于复杂等...
- 杨旭
- 文献传递
- 半导体火工桥薄膜及扩磷工艺研究
- 火工品是可以用较小的能量发火并引发燃爆的一种微型的敏感性元件。近年来出现了半导体火工桥、激光点火起爆和MEMS火工品等新型火工品,利用微电子集成技术,使火工品具有逻辑功能,以满足点火能量低、起爆时间短、抗干扰及小型化的要...
- 杨旭
- 关键词:化学气相沉积电学特性表面形貌
- 文献传递