李国花
- 作品数:20 被引量:17H指数:2
- 供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金上海市教育委员会创新基金博士科研启动基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学生物学医药卫生更多>>
- 注氮、注氟SIMOX/NMOS器件辐射加固性能(英文)
- 2007年
- 本文对注N、注F的SIMOX/NMOSFET器件的抗辐射特性进行了研究,发现两者都能减少埋氧层及其界面的空穴陷阱,对辐射加固有所改善,特别是对大剂量辐射的加固更为明显。总体来说,在此能量下,离子注入剂量越大,加固越好。由于注入的剂量对片子本身的阈值电压有很大影响,所以选择对于器件初始特性影响较小的剂量及能量非常重要。
- 王宁娟刘忠立李宁张国强于芳郑中山李国花
- 关键词:SOIMOSFET离子注入
- 辐射加固的JFET/SOS:工艺及γ辐射效应被引量:1
- 1999年
- 本文研究了制作 J F E T/ S O S(蓝宝石上外延硅结型场效应晶体管)的方法,采用扩散形成栅极 p+ n 浅结以及复合注入的方法形成导电沟道,在不同的工艺条件下可得到增强型和耗尽型器件.通过 Co60源的 γ射线辐射实验发现这种器件具有良好的抗总剂量辐射性能,在 5 M rad( Si)剂量时阈值电压的变化小于 01 V。
- 聂纪平刘忠立和致经于芳李国花张永刚
- 关键词:结型场效应晶体管
- 全耗尽S0IMOSFET器件总剂量抗辐射的研究
- 本文主要研究了全耗尽SOIMOSFET的总剂量的抗辐射特性,特别是不同的偏置条件下器件对总剂量的抗辐射的能力。着重分析了埋氧层以及在埋氧层/顶硅界面处的电荷以及伴随的电场的产生与分布是如何对全耗尽器件产生影响的。通过器件...
- 王宁娟刘忠立李宁于芳李国花
- 关键词:总剂量辐射电学性能
- 文献传递
- 氮化硅膜中的氢含量及其对pH-ISFET敏感特性的影响
- 陈克铭李国花陈朗星
- 关键词:氮化硅陶瓷离子交换膜
- 染色腐蚀多孔硅的光致可见光发光特性被引量:1
- 1994年
- 用氯氟酸硝酸水溶液对硅单晶抛光片进行染色腐蚀,制备了多孔硅.本文研究染色腐蚀多孔硅的光致可见光发光特性,特别是激发光强度和波长与发射光强度与波长的关系,多孔硅的稳定性和响应特性.
- 夏永伟李国花滕学公樊志军
- 关键词:多孔硅光致发光可见光
- 光生物传感技术与癌症易感性的检出
- 1998年
- 要有效预防癌症就要检测出肿瘤生物标记物的量及其变化量.因此,关键是要发展一种能检测出肿瘤易感个体的新方法———光生物传感技术.由此可作出细胞癌变的易感个体的预警,并给出针对性的预防措施,使癌症的发病率大大下降.
- 陈克铭李国花马红芝
- 关键词:易感性肿瘤检测生物标记物
- 两种改进边缘效应的全耗尽MOSFET器件的制备及对辐射的影响
- 采用硅岛隔离和经过辐照过的LOCOS隔离制备的SOI MOSFET器件通常都会出现边缘效应,即会出现亚阈值斜率的"隆起"(HUMP)效应。针对产生边缘效应产生的不同原因,我们分别采取了圆角化工艺和类BTS结构来改进辐照前...
- 王宁娟刘忠立李宁刘芳李国花
- 关键词:全耗尽辐照
- 文献传递
- 半导体光发射与探测耦合组件
- 本实用新型公开了一种用多薄层晶体生长工艺制造的,具有垂直集成与光路自对准结构的半导体光发射与探测耦合组件。它由半导体光探测器件,透明绝缘晶体薄层以及半导体光发射器件叠加构成。它能简化工艺,降低成本,并有提高可靠性与灵敏度...
- 夏永伟滕学公李国花樊志军
- 文献传递
- 进一步提高氢离子敏场效应晶体管稳定性的研究被引量:1
- 1994年
- 本文提出了关系到ISFET不稳定性的三个原因:(一)Si_3N_4膜表面或其缓冲溶液中。停留的羟基团是非常活泼,容易增加或失掉电子.这是氢离子敏FET传感器长期不稳定性的原因.(二)氢离子敏FET传感器的稳定性,随着ISFET的制作过程中沉淀条件而变化,这也是ISFET不稳定性的另一原因.(三)缓冲溶液的pH随着测量过程和时间而变化,这也助长了氢离子敏FET传感器的不稳定性,但不是pH-ISFET本身的不稳定性原因.我。们利用了再调整和控制羟氨基团比率的技术来提高ISFET的稳定性.这种改进稳定特性的技术在实践中是有效的.
- 陈克铭李国花陈朗星朱燕
- 关键词:场效应晶体管稳定性氢离子
- 一种硅的光探测器件
- 本实用新型公开了一种紫外增强的p-n结硅光生伏特探测器的结构。它在探测器探光面的金属电极之间或(和)其四周的硅表面上布设一层多孔硅的荧光膜。该结构具有工艺过程简单易控、成本低廉、并能与现有集成电路工艺相容等诸多优点。
- 夏永伟李国花滕学公樊志军
- 文献传递