戴玉堂
- 作品数：74 被引量：221H指数：9
- 供职机构：武汉理工大学更多>>
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- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 基于飞秒激光加工的马赫-曾德尔干涉氢气传感器被引量：11
- 2012年
- 介绍了一种基于光纤微加工的氢气传感技术方案。利用波长为800nm的飞秒激光脉冲在普通单模光纤上加工马赫-曾德尔(M-Z)干涉腔,并采用磁控溅射方法在加工后的M-Z干涉微腔上溅射钯(Pd)膜,制备了一种新型的光纤氢气传感器。分析了加工工艺对微腔干涉效果的影响,选择合适的加工参数以及加工后对微腔进行后续处理,可使微腔的透射光谱的分辨率得到提高。实验研究了腔长为40μm的M-Z干涉传感器分别镀36nm、110nmPd膜后,对氢气的响应。结果表明,在不同的氢气浓度下,镀Pd膜的M-Z干涉传感器都表现出对氢气的敏感特性,随着氢气浓度的增大,透射光谱会向长波长方向偏移,其中Pd膜厚度为110nm比厚度为36nm的传感器对氢气有更好的灵敏度。
- 成洁杨明红王闵戴玉堂
- 关键词：传感器飞秒激光氢气磁控溅射
- 基于对称铰链的中低频光纤加速度传感器及其优化设计被引量：6
- 2017年
- 考虑到光纤布拉格光栅(FBG)在振动监测中的优势,设计了一种基于对称铰链的中低频布拉格光栅加速度传感器。阐述了传感器的结构和工作原理,并提出了一种拟合的方法计算铰链刚度,同时推导出了传感器固有频率和灵敏度的理论公式。采用SQP优化方法以两种不同的思路对传感器的结构参数进行优化,得到了两种满足不同需求的传感器尺寸。最后通过在振动台上的标定实验,测试了传感器的灵敏度、幅频响应特性和抗横向干扰能力等性能。实验结果表明,传感器的谐振频率约为400Hz,灵敏度约为230pm/g,横向干扰小于8%,具备较好的抗横向干扰能力。
- 董柯戴玉堂殷广林胡鹏飞邹猛
- 关键词：加速度
- 基于游标效应的可控灵敏度光纤法布里-珀罗气压传感器
- 本发明公开了一种基于游标效应的可控灵敏度光纤法布里‑珀罗气压传感器，包括毛细玻璃管、入射光纤和反射光纤，入射光纤和反射光纤依次间隔分布于毛细玻璃管内，毛细玻璃管的侧壁上设有开口，入射光纤和反射光纤分布于开口的两侧。提供多...
- 戴玉堂陈鹏代圣力
- 文献传递
- 高频脉动气体射流喷头仿真设计
- 2023年
- 为改善飞秒激光加工形貌及提高加工深度,设计一种高频脉动气体射流系统。利用双稳态射流开关实现高频振动与射流的耦合,形成脉动射流。该结构形成脉动射流主要存在2种机制:一是质量流进入空气产生的声压,在理论上能够产生大约2500 Hz的振动;二是射流在开启和关闭过程产生的振动。运用CFD技术探究了射流喷头各项结构参数对射流效果的影响,仿真结果表明控制流道宽度、侧壁倾角、主流道宽度分别对切换时间、压力振幅、出口速度的影响最大,侧壁倾角为12°,控制流道宽度为0.7 mm且垂直于输出流道,劈距为8 mm,主流喷嘴宽度和主流道宽度为1 mm时得到最理想的优化结果。
- 王嘉凯戴玉堂
- 关键词：飞秒激光
- 基于飞秒激光的石英刻蚀参数探讨被引量：6
- 2012年
- 主要从实验角度研究了在波长780 nm飞秒激光作用下石英的烧蚀,给出了石英烧蚀孔径与能量的关系,计算出石英的烧蚀阈值为1.06 J/cm^2。并研究了光阑对孔径的影响,能量、扫描速度、扫描次数与微槽宽度和微槽深度的关系。
- 周广福胡华东牛晓东戴玉堂
- 关键词：飞秒激光激光微加工石英
- 均分直槽微结构光纤光栅磁场传感器被引量：2
- 2015年
- 对微结构光纤磁场传感器的增敏性能进行研究,设计了一种基于飞秒激光微加工的均分直槽型微结构光纤磁场传感器。利用飞秒激光在刻有光纤布拉格光栅(FBG)的单模光纤(SMF)包层上刻蚀均分直槽微结构,并采用HF溶液清除直槽内的残留碎屑和应力集中点,随后用磁控溅射技术在加工部位溅射一层磁致伸缩薄膜TbDyFe。当外界磁场强度变化时,通过观测传感器中心波长的变化可实现对磁场强度的测量。直槽微结构能减小光纤横截面积,改善光纤轴向伸缩性能,增大薄膜附着表面积,从而提高传感器探头灵敏度。理论分析了直槽微结构提高传感器性能的工作原理,介绍了传感器探头的制备工艺和性能影响因素,给出了不同参数传感探头的磁场测试结果。实验结果表明,利用飞秒激光加工直槽微结构能明显改善传感器探头灵敏度,其中直槽个数对性能影响最为明显;相对于无微结构传感器探头,有微结构光纤探头灵敏度最高可提升3.8倍。
- 刘斌戴玉堂周贤邹猛Joseph Muna Karanja
- 关键词：磁场传感器飞秒激光
- 157nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响被引量：3
- 2011年
- 为了研究157nm激光工艺参量对刻蚀性能的影响,采用157nm深紫外激光对两种宽禁带材料(石英玻璃和蓝宝石)进行微刻蚀试验,得到了理想的工艺参量范围,蓝宝石的刻蚀速率大约是石英玻璃的一半,并且蓝宝石的刻蚀表面要比石英玻璃粗糙得多。随着刻蚀深度的增加,光解生成物的脱出变得困难,从而导致刻蚀速率的降低。选用较高的扫描速率和较低脉冲频率的组合进行激光扫描刻蚀能有效地降低刻蚀面的粗糙度。结果表明,对非金属材料的刻蚀,激光的能量密度在材料刻蚀阈值的2.5倍～4倍时能获得较好的刻蚀效果。
- 戴玉堂崔健磊徐刚白帆
- 关键词：激光技术
- GaN基半导体材料的157nm激光微刻蚀被引量：9
- 2009年
- 采用157 nm波长准分子激光,对LED-GaN半导体薄膜进行了刻蚀试验研究。探讨了GaN基半导体材料的基本刻蚀特性和刻蚀机理。结果表明,157 nm激光在能量密度高于2.5 J/cm2时,刻蚀速率可达50 nm/pulse以上。以低于16 Hz脉冲频率和高于0.25 mm/min的扫描速度进行激光直写刻蚀时,可以获得Ra30 nm以下的表面粗糙度。采用扫描刻蚀方法,可以加工出75°左右的刻蚀壁面。实验也证明157 nm激光在三维微结构加工方面具有较大的潜力。单光子吸收电离引起的光化学反应是157 nm激光刻蚀GaN基材料的主要机理。
- 戴玉堂徐刚崔健磊白帆
- 关键词：光学制造GAN基材料
- 用于检测生物体内一氧化氮浓度的微型光纤生物传感器
- 本发明涉及一种用于检测生物体内NO浓度的微型光纤生物传感器。该传感器由光源、输入光纤、NO光纤荧光微型探头、输出光纤、信息采集与数据处理系统组成。所述传感器微型探头采用157nm紫外短脉冲激光技术加工多模石英光纤制成。N...
- 丁莉芸黄俊戴玉堂黄兰芬王海钟韵鸣
- 光纤微结构加工、敏感材料及其集成的光纤传感理论及方法
- 杨明红代吉祥戴玉堂袁银权周次明
- 该项目所属科学技术领域是信息领域光电子器件和智能感知。 智能感知被列为《国家中长期科学和技术发展规划纲要》中信息技术的前沿技术，新型传感技术是信息产业的优先发展主题。光纤传感技术是传感技术的一个主要分支，其发展趋势是微型...
- 关键词：
- 关键词：光电子器件设计方法
