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张维生

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇等离子体刻蚀
  • 2篇数学
  • 2篇数学基础
  • 2篇速度场
  • 2篇内存
  • 2篇刻蚀
  • 2篇几何信息
  • 2篇编程
  • 2篇编程实现

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 2篇张维生
  • 2篇严培
  • 2篇阎军
  • 2篇杨明强

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种用于等离子体刻蚀剖面演化的三维计算方法
本发明公开了一种用于等离子体刻蚀剖面演化的三维计算方法，在等离子体刻蚀剖面演化过程中，将刻蚀的初始剖面形状用初始的水平集函数加以描述，并通过重新初始化函数对初始的水平集函数进行修正，进一步通过等离子体流中的离子角度分布和...
阎军严培杨明强张维生
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一种用于等离子体刻蚀剖面演化的三维计算方法
本发明公开了一种用于等离子体刻蚀剖面演化的三维计算方法，在等离子体刻蚀剖面演化过程中，将刻蚀的初始剖面形状用初始的水平集函数加以描述，并通过重新初始化函数对初始的水平集函数进行修正，进一步通过等离子体流中的离子角度分布和...
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