张承军
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：西安微电子技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 不同状态的SiAl丝对键合点根部损伤的影响
- 键合点根部损伤是Al丝超声键合工艺中最常见的问题之一,严重的根部损伤不仅使焊点的键合强度降低,甚至会使键合点失效.本文通过优化键合机器的工艺参数,分析键合丝的组成成份和采取不同的退火条件,研究Al丝超声键合中,键合点根部...
- 李自学王凤生张承军
- 关键词：混合电路超声键合
- 文献传递
- 不同状态的SiAl丝对混合集成电路键合点根部损伤的影响
- 2002年
- 键合点根部损伤是Al丝超声键合工艺中最常见的问题之一,严重的根部损伤不仅使焊点的键合强度降低,甚至会使键合点失效。本文通过优化键合机器的工艺参数,分析键合丝的组成成份和采取不同的退火条件,研究Al丝超声键合中键合点根部损伤的程度,为键合丝的选用提供依据,也为进一步提高Al丝超声键合强度做一些基础工作。
- 李自学王凤生张承军
- 关键词：混合集成电路键合点
