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傅俊兴

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：西安电子科技大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇半导体
  • 1篇半导体器件
  • 1篇SIC

机构

  • 2篇西安电子科技...

作者

  • 2篇傅俊兴
  • 1篇李跃进
  • 1篇杨银堂
  • 1篇朱作云
  • 1篇詹永玲
  • 1篇何光
  • 1篇杨银棠
  • 1篇韩晓亮
  • 1篇尚也淳
  • 1篇柴常春
  • 1篇高海霞
  • 1篇张义门
  • 1篇贾护军
  • 1篇张玉明
  • 1篇汪家友
  • 1篇孙青
  • 1篇高洪福

传媒

  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 1篇2002
  • 1篇1996
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
器件结构中材料应力的控制和优化方法
1996年
在对器件结构中材料应力进行分析和测量的基础上，提出了控制和优化器件结构中材料应力的几种方法，包括合理选择工艺条件、采用多层复合膜技术、确定双层结构的最佳厚度值以及选择适当的材料种类等。实际应用结果表明，这些方法是有效的和可行的。
杨银堂傅俊兴孙青
关键词：半导体器件
SiC高温半导体器件技术
杨银棠张义门李跃进张玉明柴常春贾护军朱作云汪家友傅俊兴尚也淳高洪福韩晓亮何光詹永玲高海霞
该项目是新型半导体材料和器件技术研究领域重要的前沿研究课题，主要研究成果包括：研制建立了可用于SiC材料生长的常压化学气相淀积系统、研究了SiC材料掺杂技术、研究了SiC材料上氧化层制备技术、在SiC材料上用磁控溅射的方...
关键词：
关键词：SIC
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