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高洪福
作品数:
2
被引量:9
H指数:1
供职机构:
西安电子科技大学
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发文基金:
国防科技技术预先研究基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
温浩宇
西安电子科技大学
杨银堂
西安电子科技大学
汪家友
西安电子科技大学
张玉明
西安电子科技大学
贾护军
西安电子科技大学
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高洪福
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西安电子科技...
年份
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2002
1篇
1998
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碳化硅半导体技术新进展
被引量:9
1998年
介绍了SiC材料的生长及器件制备技术,分析了目前SiC器件及集成电路等方面的研究现状,并讨论了存在的各种问题.
杨银堂
高洪福
温浩宇
关键词:
碳化硅
晶体生长
SiC高温半导体器件技术
杨银棠
张义门
李跃进
张玉明
柴常春
贾护军
朱作云
汪家友
傅俊兴
尚也淳
高洪福
韩晓亮
何光
詹永玲
高海霞
该项目是新型半导体材料和器件技术研究领域重要的前沿研究课题,主要研究成果包括:研制建立了可用于SiC材料生长的常压化学气相淀积系统、研究了SiC材料掺杂技术、研究了SiC材料上氧化层制备技术、在SiC材料上用磁控溅射的方...
关键词:
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SIC
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