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倪添灵

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学核科学技术一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇理学
  • 1篇核科学技术
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇等离子体
  • 2篇导电
  • 2篇导电材料
  • 2篇等离子体射流
  • 2篇电压
  • 2篇狭缝
  • 2篇交流功率
  • 2篇功率
  • 2篇常压
  • 1篇低频
  • 1篇氧化硅薄膜
  • 1篇射流
  • 1篇射频
  • 1篇离子
  • 1篇介质
  • 1篇介质阻挡
  • 1篇冷等离子体
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机模拟
  • 1篇光谱

机构

  • 4篇中国科学技术...

作者

  • 4篇倪添灵
  • 3篇周海洋
  • 3篇温晓辉
  • 3篇丁芳
  • 3篇朱晓东
  • 2篇詹如娟
  • 1篇陈牧笛
  • 1篇柯博
  • 1篇汪磊

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 1篇2009
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
长位型低频冷等离子体实验与模拟研究
等离子体的性质不仅与等离子体的激发方式有关，而且受到电极位型、结构与材料等的影响。另一方面，针对不同应用工艺的一些非常规位型等离子体源，由于位型的特殊性，给等离子体特性研究带来一定难度，而对等离子体特性的研究是理解放电机...
倪添灵
关键词：冷等离子体发射光谱介质阻挡射流计算机模拟
常压线状冷等离子体射流产生装置
本发明提出一种常压线状冷等离子体射流产生装置，包括：介质板；固定在所述介质板的一个表面上的梳状悬空电极；固定在所述介质板的另一个表面上、与所述梳状悬空电极绝缘、且与音频交流功率源的输出端相连的交流电压电极板；中间开有一条...
朱晓东倪添灵丁芳温晓辉周海洋詹如娟
文献传递
常压线状冷等离子体射流产生装置
本发明提出一种常压线状冷等离子体射流产生装置，包括：介质板；固定在所述介质板的一个表面上的梳状悬空电极；固定在所述介质板的另一个表面上、与所述梳状悬空电极绝缘、且与音频交流功率源的输出端相连的交流电压电极板；中间开有一条...
朱晓东倪添灵丁芳温晓辉周海洋詹如娟
文献传递
电子回旋共振-射频双等离子体沉积氧化硅薄膜过程中的射频偏压效应被引量：1
2010年
本文利用六甲基乙硅氧烷(HMDSO)和氧气(O2)为反应气体,利用微波电子回旋共振-射频双等离子体化学气相沉积法沉积氧化硅薄膜,并利用发射光谱对等离子体特性进行原位诊断.研究表明,RF偏压对氧化硅薄膜沉积速率和薄膜中的化学键结构产生有意义的影响.小的直流自偏压会略微提高沉积速率;但随着直流自偏压的增加,离子轰击效应及刻蚀作用加强,薄膜的沉积速率下降.在13.56MHz和400kHz两个不同射频频率条件下所沉积的薄膜中,O和Si的比例基本相同,均超过2∶1;但400kHz射频偏压下薄膜中的碳成分比例比13.56MHz条件下的要高得多.这可以归因为高的射频偏压的应用不仅可增强离子轰击效应,而且与体等离子体相互作用,使高活性的氧原子增多;而低频偏压的作用主要是增强离子轰击效应.
柯博汪磊倪添灵丁芳陈牧笛周海洋温晓辉朱晓东
关键词：氧化硅薄膜
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