周海洋
- 作品数：17 被引量：37H指数：4
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- 相关领域：理学一般工业技术核科学技术电子电信更多>>
- 等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中光发射谱和朗谬尔探针原位诊断被引量：4
- 2001年
- 报道了利用光发射谱 (OES)和朗谬尔探针对热阴极直流放电等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的等离子体条件进行原位研究的部分结果 ,研究了几种过程参数变化中等离子体状态 ,并与金刚石膜的沉积相联系。当CH4 浓度变化时 ,CH基团的发射强度和电子密度ne 的变化表现出相似趋势 ,均出现一极大值。而在高CH4 浓度 ,C2 的发射出现。在气压变化过程中 ,CH的发射强度和ne 均随气压的升高而下降 ,C2 的发射强度变化不大。用OES和朗谬尔探针测量的电子温度Te 所显示的结果是一致的。在这些过程中 ,电子碰撞应该是CH发射的主要机制 ,C2
- 朱晓东温晓辉周海洋詹如娟
- 关键词：电子温度电子密度金刚石薄膜等离子体化学气相沉积
- 常压线状冷等离子体射流产生装置
- 本发明提出一种常压线状冷等离子体射流产生装置，包括：介质板；固定在所述介质板的一个表面上的梳状悬空电极；固定在所述介质板的另一个表面上、与所述梳状悬空电极绝缘、且与音频交流功率源的输出端相连的交流电压电极板；中间开有一条...
- 朱晓东倪添灵丁芳温晓辉周海洋詹如娟
- 文献传递
- HMDSO/H_2等离子体化学气相沉积非晶包覆纳米α-SiC薄膜的实验研究被引量：1
- 2006年
- 本文利用六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为先驱物质、氢气为稀释气体,进行了等离子体化学气相沉积碳硅薄膜的实验研究。运用X射线衍射、拉曼光谱、扫描电子显微镜和X射线光电子能谱对薄膜的成份和结构进行了分析。结果表明,在生长温度为750℃的条件下成功地得到了纳米-αSiC沉积,碳化硅晶粒被包覆在非晶的SiOxCy∶H成分中。薄膜由椭球状的颗粒组成,且随着HMDSO比例的增加,薄膜的结晶度和表面均匀性都得到改善。高流量氢气和HMDSO单体的使用被认为有效地促进了-αSiC晶体的形成。
- 颜官超丁斯晔朱晓东周海洋温晓辉丁芳
- 关键词：纳米HMDSO
- Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究
- 报道了所研制的的Waveguide-surfatron激发的表面波等离子体源的特性，理论计算表明，激发表面波模式为m≥模，在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出，采用Ar气放电，在气压为10-1000P...
- 詹如娟吴丛凤朱小东黄卫东温小辉武帅周海洋
- 关键词：等离子体源
- Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究被引量：4
- 2001年
- 报道了所研制的Waveguide surfatron型表面波等离子体源的特性 ,理论计算表明 ,激发表面波模式为m≥l模 ,在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出 ,采用Ar气放电 ,在气压为 10～ 10 0 0Pa ,微波功率 80 0～ 10 0 0W的范围内可形成大面 (体 )积 (直径为 16 0mm)等离子体 ,其电子温度为 1～ 4eV ,等离子体密度为 10 10 ～ 10 11cm-3 量级 ,实测的等离子体密度与理论计算值基本吻合。
- 詹如娟吴丛凤温小辉朱晓东周海洋
- 关键词：等离子体源等离子体密度
- CVD金刚石辐射探测器研制及性能测试被引量：7
- 2010年
- 电学性质优异的金刚石膜是理想的辐射探测器材料,用自支撑金刚石膜研制了辐射探测器,进行了探测器的性能测试.探测器采用的是"叉指"状共面型电极结构,探测器的有效探测区面积为3mm×3mm,探测器的连接接口是L16电缆头.探测器暗电流与电压呈线性变化的关系,表明金属电极与金刚石基底之间是欧姆型电接触.当两电极之间的电场场强为30kV/cm时,探测器的暗电流仅约为0·1nA,探测器信号的上升时间为590ps,探测器的灵敏度约110mA/W,而且探测器有较好的剂量率线性特性.
- 周海洋朱晓东詹如娟
- 关键词：CVD金刚石辐射探测器
- 热阴极直流放电等离子体化学气相淀积金刚石膜过程中等离子体环境的研究被引量：3
- 1999年
- 利用光发射谱和Langmuir探针对热阴极直流放电等离子体化学气相淀积(PCVD)金刚石薄膜的等离子体环境进行了原位诊断 ,根据探针和光谱诊断结果定量地计算了在放电电流密度变化过程中基态氢原子和基态CH基团数密度的变化 ,发现基态和激发态的原子氢和CH基团的数密度均因放电密度增加而提高 .电子密度、CH发射的相对强度均随放电电流密度的增加而线性增加 ,而不同的含碳活性粒子的产生与电子温度的升高有关 .将诊断结果与金刚石的生长相联系 ,表明激发态的原子氢的产生促进了金刚石的生长 ,等离子体环境中电子温度和密度的增加对金刚石生长速率提高起着重要的作用 .
- 朱晓东詹如娟周海洋胡敏温晓辉周贵恩李凡庆
- 关键词：金刚石薄膜等离子体诊断PCVD化学气相沉积
- 纳米晶金刚石膜合成研究及CVD金刚石辐射探测器研制
- 金刚石集多种优异的力学、热学、电学和光学性质于一身，应用领域广泛。尽管CVD金刚石的研究目前已取得了令人瞩目的成就，但无论是制备技术还是应用研究都还远远不够，还有很多课题需要深入研究，包括高电学光学质量金刚石合成、金刚石...
- 周海洋
- 关键词：金刚石辐射探测器金刚石膜纳米
- 文献传递
- EACVD沉积金刚石过程中气相化学研究被引量：5
- 2000年
- 利用热阴极直流等离子体化学气相沉积技术分别在ＣＨ４－Ｈ２和Ｃ２Ｈ５ＯＨ－Ｈ２两种不同的工作环境中沉积金刚石膜，同时利用发射光谱对等离子体气相环境进行了原位诊断。在ＣＨ４－Ｈ２和Ｃ２Ｈ５ＯＨ－Ｈ２两种体系中，探测到Ｈ原子和ＣＨ、ＣＨ＋、Ｃ２等多种碳氢粒子，发现ＣＨ和ＣＨ＋有益于金刚石生长，而Ｃ２是非金刚石相的生长基因．与ＣＨ４－Ｈ２体系所不同的是，在Ｃ２Ｈ５ＯＨ－Ｈ２体系中，还产生了ＣＨＯ、ＣＨ２Ｏ、Ｏ２基因，故可增加碳源浓度，提高金刚石膜的生长速率，同时保证金刚石膜的晶体质量。含氧碳源的使用对金刚石膜合成的影响主要是因为沉积过程中气相环境变化所致。
- 朱晓东温晓辉詹如娟周海洋
- 关键词：金刚石膜EACVD气相合成
- CVD金刚石在辐射探测领域中的应用被引量：8
- 2005年
- 随着低气压合成金刚石研究的深入,CVD 金刚石质量及电学品质不断提高,高性能 CVD 金刚石电子器件的研制已成为该领域的热点研究课题之一。由于金刚石辐射探测器具有信噪比高、时间响应快、可以在极端恶劣环境中正常工作等优点,基于 CVD 金刚石的辐射探测器研制吸引了众多的研究兴趣。本文评述 CVD金刚石辐射探测器的研究进展,对 CVD 金刚石辐射探测器研究中遇到的问题和发展前景作了分析和展望。
- 周海洋朱晓东詹如娟
- 关键词：CVD金刚石探测器
