您的位置： 专家智库 > >

倪佩楠

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇导体
  • 2篇化学反应
  • 2篇工业化
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体薄膜
  • 2篇衬底

机构

  • 2篇中国科学院长...

作者

  • 2篇鞠振刚
  • 2篇申德振
  • 2篇李炳辉
  • 2篇倪佩楠
  • 2篇王双鹏
  • 2篇单崇新

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
采用复合模式生长半导体薄膜的方法及装置
复合模式生长半导体薄膜的方法及装置，涉及半导体材料生长技术及设备制造领域。解决现有技术制备方法制备的薄膜结晶质量差、生产速率慢的问题。通入ALD反应前驱体A在衬底表面形成单原子层；再通入ALD反应前驱体B与ALD反应前驱...
单崇新鞠振刚倪佩楠李炳辉王双鹏申德振
采用复合模式生长半导体薄膜的方法及装置
复合模式生长半导体薄膜的方法及装置，涉及半导体材料生长技术及设备制造领域。解决现有技术制备方法制备的薄膜结晶质量差、生产速率慢的问题。通入ALD反应前驱体A在衬底表面形成单原子层；再通入ALD反应前驱体B与ALD反应前驱...
单崇新鞠振刚倪佩楠李炳辉王双鹏申德振
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0