您的位置： 专家智库 > >

任冰燕

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇衍射
  • 1篇衍射效应
  • 1篇折射角
  • 1篇折射率
  • 1篇胶层
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻分辨率

机构

  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇任冰燕
  • 1篇程兆谷
  • 1篇路敦武
  • 1篇杜龙龙
  • 1篇黄惠杰
  • 1篇杨良民
  • 1篇赵永凯

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
提高光刻分辨率的方法
一种提高光刻分辨率的方法,在接近或接触式光刻的掩模板上的铬膜图案中的空气间隙内和在掩模板铬膜与硅片上光刻胶层之间的空气层隙内,填充折射率大于掩模板基片折射率的透明材料。并对空气层隙内与光刻胶层相接触的透明材料层的表面进行...
赵永凯黄惠杰任冰燕杜龙龙程兆谷路敦武杨良民
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0