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陈晔

作品数：23 被引量：28H指数：3
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇期刊文章
  • 6篇学位论文
  • 3篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 11篇电子电信
  • 2篇电气工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 1篇经济管理
  • 1篇哲学宗教
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇政治法律
  • 1篇理学

主题

  • 6篇光刻
  • 4篇电路
  • 4篇可制造性
  • 4篇集成电路
  • 4篇分辨率增强技...
  • 3篇硅表面
  • 2篇电路设计
  • 2篇亚微米
  • 2篇深亚微米
  • 2篇蚀刻
  • 2篇数据校正
  • 2篇特征函数
  • 2篇中外合作办学
  • 2篇微米
  • 2篇可制造性设计
  • 2篇集成电路设计
  • 2篇光刻模拟
  • 2篇光学邻近校正
  • 2篇函数
  • 2篇合作办学

机构

  • 23篇浙江大学
  • 1篇复旦大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 23篇陈晔
  • 12篇史峥
  • 8篇严晓浪
  • 4篇沈珊瑚
  • 4篇王国雄
  • 3篇高根生
  • 2篇周珂
  • 2篇叶治国
  • 2篇马玥
  • 2篇周婕
  • 1篇李愔愔
  • 1篇胡承敏
  • 1篇杨义峰
  • 1篇陈国忠
  • 1篇张培勇
  • 1篇李季
  • 1篇潘意杰
  • 1篇袁辉球
  • 1篇黄河
  • 1篇杨祎巍

传媒

  • 3篇江南大学学报...
  • 2篇Journa...
  • 1篇电子学报
  • 1篇机电工程
  • 1篇中国科学（E...
  • 1篇中国基础科学
  • 1篇半导体光电
  • 1篇中国高等医学...
  • 1篇教育教学论坛
  • 1篇科教导刊

年份

  • 1篇2020
  • 3篇2019
  • 1篇2015
  • 1篇2011
  • 4篇2008
  • 6篇2007
  • 3篇2006
  • 3篇2005
  • 1篇2004
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于密集采样成像算法的光刻制造模拟方法
本发明公开的基于密集采样成像算法的光刻制造模拟方法，包括重建TCC，频域扩展和利用特性加速计算的步骤，提出了基于密集采样成像算法的光刻制造模拟的计算流程，并采用了全新的加速算法，能够快速计算和预测在集成电路光刻制造过程中...
严晓浪史峥王国雄陈晔
文献传递
中外合作办学机构研究生思政工作浅析被引量：2
2019年
近年来,中外合作办学的层次越来越高,表现为研究生层次的中外合作办学机构不断增多,并日益成为中外合作办学的重点发展方向和趋势.而中外合作办学机构内的研究生因其培养特点与培养模式,思政教育有其本身特点.本文浅析了中外合作办学研究生思政教育的特点难点,并有针对性地提出了相应的解决思路.
叶治国周婕黄晓涵茅雨晨陈晔
关键词：中外合作办学思想政治教育
基于光刻模型的动态自适应切分OPC被引量：2
2008年
光学邻近校正（OPC）技术已经成为纳米级半导体工艺技术中的一个关键.目前在OPC中多边形的切分算法均基于配方（recipe）,但随着特征线宽减小及版图越来越复杂,用于切分的配方难以覆盖所有的情况;不完备的配方引发或加剧了芯片上的纹波、断线和桥连等现象.论文提出了一种新的基于光刻模型的动态自适应切分算法,根据不同的光刻模型和几何环境可以给出不同的切分,并且可在校正循环中动态改变切分方式和采样点的放置位置.通过90nm工艺下版图设计的验证,这种切分不仅减少了被切分出的小线段（segment）数量的10%-15%,节省了调试切分规则的时间,而且提高了OPC的质量,使PRV（post RET verification）错误率降低了35%.
杨祎巍史峥严晓浪陈晔
关键词：光学邻近校正
亚波长光刻离轴照明和次分辨率辅助图形技术被引量：4
2006年
讨论了亚波长光刻条件下的离轴照明和次分辨率辅助图形两种分辨率的增强技术,分析了两种技术的原理,利用光刻模拟软件,针对不同线宽的稀疏线条,对添加次分辨率辅助图形前后的光刻仿真结果进行了对比.研究结果表明,离轴照明技术和次分辨率辅助图形的结合使用,可以显著提高亚100纳米级版图线条的光刻分辨率,增大工艺窗口,降低版图成像对生产工艺参数的要求,对于解决亚波长光刻所带来的亚100纳米级集成电路成像质量下降的问题非常必要.
李季史峥沈珊瑚陈晔
关键词：离轴照明分辨率增强技术光刻模拟
纺织机械控制系统关键技术研究
本文以电脑横机为具体应用对象，详细介绍了基于嵌入式的自动化纺织机械控制系统的研究与设计开发过程。文中分析了国内外同类技术的发展趋势，借鉴了同类产品的设计思想，力求设计出一套稳定而高效的纺织机械控制系统解决方案。 ...
陈晔
关键词：纺织机械嵌入式系统电脑针织横机LINUX自动控制系统
文献传递
两自由度电机矩角特性的计算与分析
本文在参考了国内外已有多自由度球电机的基础上,提出了正交圆柱结构的两自由度电机,它是独立设计的一种创新结构.此电机可分解为两个独立的两相混合式步进电机:分别为内层小电机(外转子两相混合式步进电机)和外层大电机(扇形结构的...
陈晔
关键词：有限元磁网络矩角特性
文献传递
大屏幕显示器上显示区位对目标觉察和搜索的影响
大屏幕显示器能综合显示大量信息，丰富信息显示方式，逼真模拟虚拟的工作环境。同时，不可避免的是大屏幕显示会带来信息量的剧增，如何避免信息显示的冗杂，提高重要信息的获取速度，这是需要解决的问题。本研究在仔细分析以往理论研究成...
陈晔
关键词：大屏幕显示器
文献传递
亚100纳米级标准单元的可制造性设计被引量：4
2005年
本文介绍了亚 10 0纳米工艺可制造性验证的一组工艺仿真和错误定位技术 ,制定了标准单元可制造性设计 (DFM ,DesignForManufacturability)的流程 ,重点讨论了在亚 10 0纳米工艺条件下标准单元设计中遇到的一些典型可制造性问题 ,提出了相应的新设计规则和解决方案 .依靠以上DFM技术方法 ,完成了实际 90nm工艺标准单元可制造性设计工作 .
张培勇严晓浪史峥高根生马玥陈晔
关键词：可制造性设计分辨率增强技术
高新技术企业发展与金融创新
我国高新技术企业面临着“资本缺口”和“债务融资缺口”的融资困境。融资难固然是制约我国高新技术企业发展不容忽视的障碍，但更深层次的问题则在于缺乏及时有效分散和充分转移、配置风险的机制。有效的风险配置机制创新和融资渠道、融资...
陈晔
关键词：融资困境金融创新
文献传递
基于特征函数的空间点光强快速算法优化
2007年
讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法——即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的相干系统与双线性系统算法,并提出了优化的N取值方案.该方案充分考虑了光刻系统参数对N取值的影响.实验结果证明,采用了新的N取值方案的近似算法是一种高精度算法.
周珂史峥陈晔沈珊瑚
关键词：特征函数
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