王君雄
- 作品数：3 被引量：10H指数：2
- 供职机构：江苏大学机械工程学院更多>>
- 发文基金：江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学自动化与计算机技术更多>>
- 工艺条件对硼掺杂纳米硅薄膜微结构及力学性能的影响被引量：6
- 2009年
- 采用射频和直流偏压(RF+DC)双重激励源,在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中成功制备了掺硼纳米硅薄膜。改变衬底温度、射频功率和退火温度几个关键工艺参数,利用拉曼(Raman)谱仪、薄膜测厚仪和原子力显微镜(AFM)对掺硼纳米硅薄膜的微结构进行了分析;应用纳米压痕法研究了工艺条件对薄膜弹性模量及硬度等力学性能的影响关系。结果表明:薄膜晶态比、平均晶粒大小随着衬底温度的升高均有增大趋势;射频功率对提高薄膜生长速率存在最优值条件;退火对本征和掺硼薄膜表面形貌特征有较大影响,退火后掺硼薄膜表面粗糙度增大明显。薄膜弹性模量及硬度很大程度上受射频功率和后序处理条件的影响,退火使薄膜的力学性能有所提高。针对实验现象,从薄膜结构方面进行了相关的理论阐释。
- 丁建宁祁宏山袁宁一何宇亮程广贵范真潘海彬王君雄王秀琴
- 关键词：纳米硅薄膜掺硼AFM
- 六自由度机器人避障问题的MATLAB仿真被引量：2
- 2010年
- 针对六自由度机器人的避障问题提出了随机避障的数学模型,该模型具有简单高效且具通用性。利用MATLAB进行模拟仿真,建立了可视化平台。模拟结果表明利用随机避障模型能够有效地实现避障。
- 施琴马履中刘翊王君雄
- 关键词：机器人避障MATLAB仿真
- 掺磷纳米硅薄膜的制备及介观力学性质与介观接触电阻的研究被引量：2
- 2009年
- 采用PECVD法制备的纳米硅薄膜是一种具有特殊性能的人工材料。它是由大量具有纳米量级的硅微晶粒构成,纳米硅晶粒镶嵌在由非晶硅构成网络中,其晶粒所占的体积百分比为XC≈50%,从而决定了其特有的性质。本文通过严格控制薄膜生长的工艺参数,得到了掺磷纳米硅薄膜,并通过原位纳米力学电学测试系统对其力学和电学性质进行测试,发现掺磷纳米硅薄膜的纳米硬度为5GPa,而其杨氏模量随着压入深度的增加而增大,其接触电阻与薄膜的结构密切相关。这些属性对于纳米硅薄膜微器件的制备具有重要的参考意义。
- 王君雄丁建宁程广贵袁宁一何宇亮坎标潘海滨
- 关键词：纳米硅薄膜掺磷纳米压痕
