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杨永青

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中南大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 4篇金刚石膜
  • 4篇CVD金刚石...
  • 2篇星轮
  • 2篇行星轮
  • 2篇行星轮系
  • 2篇整流罩
  • 2篇生长速率
  • 2篇气流场
  • 2篇气体收集
  • 2篇轮系
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇工业设备
  • 2篇反应气体

机构

  • 4篇中南大学

作者

  • 4篇娄俊岭
  • 4篇杨永青
  • 4篇魏秋平
  • 4篇陈永勤
  • 4篇余志明
  • 2篇孟泽
  • 2篇黄登高
  • 2篇尹登峰

年份

  • 2篇2010
  • 2篇2009
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种用于线形试样制备CVD金刚石膜的装置
本发明公开了一种用于线形试样制备CVD金刚石膜的装置，包括真空反应室和位于该真空反应室内部的气体裂解热丝、气体排出装置以及用于放置线性基体的基体支撑架，其特征在于，所述的气体排出装置为一个具有窄缝通气腔的气体收集器。所述...
余志明魏秋平杨永青娄俊岭陈永勤黄登高孟泽
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多用途批量制备CVD金刚石膜的工业设备
本发明公开了一种多用途批量制备CVD金刚石膜的工业设备，包括真空环形反应室和气体裂解热丝、气体进排放锥面窄缝通气腔、行星轮系、用于放置基体的基体安装架装置、上下整流罩、冷却腔以及腔外滤油循环通道，所述的气体进排放锥面窄缝...
魏秋平余志明娄俊岭陈永勤杨永青尹登峰
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一种用于线形试样制备CVD金刚石膜的装置
本发明公开了一种用于线形试样制备CVD金刚石膜的装置，包括真空反应室和位于该真空反应室内部的气体裂解热丝、气体排出装置以及用于放置线性基体的基体支撑架，其特征在于，所述的气体排出装置为一个具有窄缝通气腔的气体收集器。所述...
余志明魏秋平杨永青娄俊岭陈永勤黄登高孟泽
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多用途批量制备CVD金刚石膜的工业设备
本发明公开了一种多用途批量制备CVD金刚石膜的工业设备，包括真空环形反应室和气体裂解热丝、气体进排放锥面窄缝通气腔、行星轮系、用于放置基体的基体安装架装置、上下整流罩、冷却腔以及腔外滤油循环通道，所述的气体进排放锥面窄缝...
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