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宣鑫科

作品数：4 被引量：3H指数：1
供职机构：华东师范大学更多>>
相关领域：化学工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇等离子刻蚀
  • 2篇电极
  • 2篇氧浓度
  • 2篇制版
  • 2篇溶胶
  • 2篇溶胶凝胶
  • 2篇溶胶凝胶法
  • 2篇探头
  • 2篇微米
  • 2篇微米级
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇刻蚀
  • 2篇划片
  • 2篇二氧化锡薄膜
  • 2篇感器
  • 2篇ITO
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 2篇传感器探头
  • 1篇聚乙二醇

机构

  • 4篇华东师范大学

作者

  • 4篇宣鑫科
  • 3篇张健
  • 2篇游金钏
  • 2篇姚韡
  • 2篇陈雪皎
  • 1篇陶佰睿

传媒

  • 1篇齐齐哈尔大学...

年份

  • 1篇2011
  • 3篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种微纳间隙电极的制作方法
本发明公开了一种微纳间隙电极的制作方法，该方法包括电极图形设计及电极制作；首先设计各电极间隙尺寸在1.2～2.8微米；电极图形为叉指形、锯齿形、方对尖形、方对方形及尖对平形；每单元为5800微米×5800微米，划片槽宽度...
姚韡陈雪皎游金钏张健宣鑫科
文献传递
一种微纳间隙电极的制作方法
本发明公开了一种微纳间隙电极的制作方法，该方法包括电极图形设计及电极制作；首先设计各电极间隙尺寸在1.2～2.8微米；电极图形为叉指形、锯齿形、方对尖形、方对方形及尖对平形；每单元为5800微米×5800微米，划片槽宽度...
姚韡陈雪皎游金钏张健宣鑫科
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基于溶胶凝胶法ITO薄膜材料的制备与表征被引量：2
2010年
基于溶胶凝胶法制备了掺铟二氧化锡(ITO)薄膜,探讨聚乙二醇(PEG)、退火温度、退火过程氧气浓度等因素对ITO薄膜性能的影响。实验结果表明:在相同实验条件下,添加PEG能够降低ITO薄膜表面粗糙度,退火温度会改变ITO薄膜的结晶度,提高含锡量和氧浓度会增加ITO薄膜的电阻率。本研究为ITO埋栅结构气敏传感器制备提供了实验基础。
宣鑫科陶佰睿张健
关键词：溶胶凝胶二氧化锡薄膜聚乙二醇氧浓度
掺铟二氧化锡薄膜（ITO）的制备及其性质研究
二氧化锡/(SnO2/)作为一种典型的n型且有较宽的直接带系的宽禁带金属氧化物半导体材料/(Eg=3.6eV/),具有稳定的物理化学性质,例如较好的导电性能、光学性能、热稳定性和抗腐蚀性,因此SnO2已被广泛应用于气敏半...
宣鑫科
关键词：ITO薄膜溶胶凝胶法氧浓度
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