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姚韡

作品数：7 被引量：1H指数：1
供职机构：华东师范大学更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇电极
  • 4篇刻蚀
  • 4篇硅片
  • 3篇壳结构
  • 2篇等离子刻蚀
  • 2篇电化学
  • 2篇电化学刻蚀
  • 2篇电学
  • 2篇电学特性
  • 2篇制版
  • 2篇食盐水
  • 2篇探头
  • 2篇微米
  • 2篇微米级
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇纳米
  • 2篇金属

机构

  • 7篇华东师范大学

作者

  • 7篇姚韡
  • 4篇游金钏
  • 4篇张健
  • 4篇陈雪皎
  • 2篇陈清
  • 2篇曾龙
  • 2篇宣鑫科
  • 2篇孙立
  • 2篇彭波波
  • 2篇王连卫

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
一种微纳间隙电极的制作方法
本发明公开了一种微纳间隙电极的制作方法，该方法包括电极图形设计及电极制作；首先设计各电极间隙尺寸在1.2～2.8微米；电极图形为叉指形、锯齿形、方对尖形、方对方形及尖对平形；每单元为5800微米×5800微米，划片槽宽度...
姚韡陈雪皎游金钏张健宣鑫科
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在硅片上制备抗反射层的方法
本发明公开了一种在硅片上制备抗反射层的方法，该方法包括制备绒面及电化学刻蚀两步骤，其绒面制备已在该领域广泛应用；电化学刻蚀是将具有绒面结构的硅片装入电化学刻蚀反应装置中，使硅片一面接触饱和食盐水，另一面接触刻蚀液，饱和食...
游金钏王连卫姚韡彭波波孙立陈清
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一种核壳结构微纳材料湿度传感器及其制备方法
本发明公开了一种核壳结构微纳材料湿度传感器及其制备方法，特点是它以高分子聚合物将金属纳米颗粒整体包覆后形成一种核壳结构的微纳材料均匀涂覆于硅片表面，然后做上电极进行封装，制得核壳结构的微纳材料湿度传感器，其制备方法包括：...
姚韡陈雪皎张健曾龙
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在硅片上制备抗反射层的方法
本发明公开了一种在硅片上制备抗反射层的方法，该方法包括制备绒面及电化学刻蚀两步骤，其绒面制备已在该领域广泛应用；电化学刻蚀是将具有绒面结构的硅片装入电化学刻蚀反应装置中，使硅片一面接触饱和食盐水，另一面接触刻蚀液，饱和食...
游金钏王连卫姚韡彭波波孙立陈清
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一种微纳间隙电极的制作方法
本发明公开了一种微纳间隙电极的制作方法，该方法包括电极图形设计及电极制作；首先设计各电极间隙尺寸在1.2～2.8微米；电极图形为叉指形、锯齿形、方对尖形、方对方形及尖对平形；每单元为5800微米×5800微米，划片槽宽度...
姚韡陈雪皎游金钏张健宣鑫科
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核壳结构纳米材料的制备及其在湿敏微纳传感器中的应用
随着纳米科技的飞速发展，纳米结构材料的许多新特性不断为人们所认识，被认为将在未来纳米器件领域中扮演越来越重要的角色。而在这其中，核壳结构纳米材料以其特殊的性质和用途正逐渐成为纳米材料研究中的热点，不同类型的核壳结构的纳米...
姚韡
关键词：湿度传感器聚乙烯醇聚乙烯吡咯烷酮核壳结构相对湿度
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一种核壳结构微纳材料湿度传感器及其制备方法
本发明公开了一种核壳结构微纳材料湿度传感器及其制备方法，特点是它以高分子聚合物将金属纳米颗粒整体包覆后形成一种核壳结构的微纳材料均匀涂覆于硅片表面，然后做上电极进行封装，制得核壳结构的微纳材料湿度传感器，其制备方法包括：...
姚韡陈雪皎张健曾龙
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