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单建安

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电路
  • 2篇电路工艺
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子机械
  • 2篇微电子机械系...
  • 2篇硫酸铵
  • 2篇金属
  • 2篇金属表面
  • 2篇集成电路
  • 2篇集成电路工艺
  • 2篇腐蚀速率

机构

  • 2篇北京大学

作者

  • 2篇单建安
  • 2篇陈正豪
  • 2篇邢怡铭
  • 2篇王阳元
  • 2篇阎桂珍

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅腐蚀液及其制备方法
本发明涉及一种硅腐蚀液及其制备方法。本发明用5wt.%TMAH腐蚀液,在恒温85℃左右,溶解1.4－2.0wt.%的硅,然后加入0.4－0.7wt.%的过硫酸铵,溶解后得到硅腐蚀液。在微电子机械系统加工中,该腐蚀液既能对...
阎桂珍陈正豪单建安邢怡铭王阳元
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硅腐蚀液及其制备方法
本发明涉及一种硅腐蚀液及其制备方法。本发明用5wt.%TMAH腐蚀液，在恒温85℃左右，溶解1.4-2.0wt.%的硅，然后加入0.4-0.7wt.%的过硫酸铵，溶解后得到硅腐蚀液。在微电子机械系统加工中，该腐蚀液既能对...
阎桂珍陈正豪单建安邢怡铭王阳元
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