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刘秀红
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
山东大学物理学院
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发文基金:
山东省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
李爽
山东建筑大学理学院
陈志华
山东建筑大学理学院
王凤翔
山东建筑大学理学院
宋红莲
山东建筑大学理学院
卢菲
山东大学信息科学与工程学院
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机构
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作者
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刘秀红
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齐俊鹤
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卢菲
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宋红莲
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陈志华
1篇
李爽
传媒
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山东建筑大学...
1篇
全国第十二届...
年份
1篇
2011
2篇
2008
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在蓝宝石、MgO衬底上ZnO波导膜的制备
被引量:3
2011年
以ZnO烧结陶瓷为靶材,应用射频磁控溅射技术在(001)蓝宝石、(100)MgO衬底上制备ZnO波导薄膜。利用棱镜耦合、X射线衍射、RBS背散射分析等技术研究了所沉积薄膜的光波导及内部结构信息。结果表明:在两种衬底上所沉积的ZnO薄膜可以形成优良的平面光波导结构;薄膜结晶状况为存在少量其他晶向的c轴择优取向;薄膜含有的Zn及O组分原子数比例为近化学计量比;薄膜的沉积速率受衬底材料表面能作用轻微影响;薄膜的有效折射率较ZnO体材料小且受衬底材料影响。生长在蓝宝石衬底上ZnO薄膜的平均晶粒尺寸较在MgO衬底上的小,且其随膜厚的增加无明显变化,但在MgO衬底上晶粒尺寸则随膜厚的增加有增大趋势。
王凤翔
齐俊鹤
卢菲
刘秀红
李爽
陈志华
宋红莲
关键词:
磁控溅射
蓝宝石
MGO
ZNO薄膜
氧离子注入近化学剂量比铌酸锂晶体波导的特性研究
光波导是光纤通信技术的基础,利用平面光波导技术可以造出各种不同的集成光学器件。光波导的制备方法很多,现在实验上常用的也是最好的一种方法就是离子注入技术。铌酸锂晶体是一种优良的人工晶体,它具有很多重要的性质。与通常的同成分...
刘秀红
赵金花
王雪林
杜纪富
黄宁康
关键词:
离子注入
铌酸锂晶体
波导特性
光纤通信
文献传递
氧离子注入近化学剂量比铌酸锂晶体波导的特性研究
光波导是光纤通信技术的基础,利用平面光波导技术可以造出各种不同的集成光学器件。光波导的制备方法很多,现在实验上常用的也是最好的一种方法就是离子注入技术。铌酸锂晶体是一种优良的人工晶体,它具有很多重要的性质。与通常的同成分...
刘秀红
赵金花
王雪林
杜纪富
黄宁康
关键词:
平面光波导
铌酸锂晶体
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