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刘海波
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
西安电子科技大学微电子学院微电子研究所
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发文基金:
国防科技技术预先研究基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郝跃
西安电子科技大学微电子学院微电...
张进城
西安电子科技大学微电子学院微电...
刘道广
西安电子科技大学微电子学院微电...
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微电子学
年份
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2002
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通过直接栅电流测量研究PMOSFET's热载流子损伤
2002年
通过直接栅电流测量方法研究了热载流子退化和高栅压退火过程中 PMOSFET's热载流子损伤的生长规律 .由此 ,给出了热载流子引起 PMOSFET's器件参数退化的准确物理解释 .
张进城
郝跃
刘海波
关键词:
热载流子损伤
PMOSFET
场效应管
LDD NMOS器件热载流子退化研究
被引量:1
2002年
对LDD(轻掺杂漏)NMOS器件的热载流子退化特性进行了研究,发现LDDNMOS器件的退化呈现出新的特点。通过实验与模拟分析,得出了热载流子应力下LDDNMOS退化特性不同于常规(非LDD)NMOS的物理机制。并通过模拟对此观点进行了验证。
刘海波
郝跃
张进城
刘道广
关键词:
轻掺杂漏
热载流子退化
界面态
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