魏峰
- 作品数:56 被引量:79H指数:6
- 供职机构:北京有色金属研究总院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目北京市科技新星计划更多>>
- 相关领域:理学电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 基于金属氧化物的乙醇检测气敏材料的研究进展被引量:6
- 2019年
- 金属氧化物型半导体气体传感器是目前常用的乙醇检测手段,深入研究和改进金属氧化物型半导体材料是提升传感器性能的重要方式。本文首先论述了气敏检测的机理和影响因素,并综述了近年来发展的主要金属氧化物型半导体气敏材料,重点介绍了不同微观结构的Co3O4、ZnO、SnO2及掺杂金属氧化物材料、氧化物异质结等的研究和发展情况,对它们的合成方法、结构特点以及结构与乙醇气敏性能之间的关系进行了探讨。分析表明,减小材料颗粒尺寸、构建大比表面积多孔结构、掺杂和复合改性,是提升金属氧化物材料气敏性能的有效措施。此外,基于传感器微小化的趋势,以微机电系统(MEMS)工艺为基础的微型传感器成为气体传感器的发展趋势。然而,目前针对金属氧化物气敏材料的制备依然缺乏一定的理论指导,气体检测缺乏相应的机理研究,亟需物理、化学、材料等多学科的相互结合,促进乙醇等半导体气体传感器的进一步发展。
- 张晓徐瑶华刘皓魏峰苑鹏
- 关键词:乙醇气体微电子学
- 新型传感材料与器件研究进展被引量:27
- 2019年
- 新型传感技术融合了材料科学、微纳电子技术、生物技术等学科,是人工智能、精准医疗、新能源等战略前沿的先导和基础,也是智慧城市、智慧医疗等物联网应用的技术关键。智能化、微型化、多功能化、低功耗、低成本、高灵敏度、高可靠性是新型传感器件的发展趋势和主要研究方向。新型传感器件的传感性能很大程度上取决于传感材料的化学成分、表面修饰、传感层微观结构和完整性等因素。近年来,新型传感材料与器件的研究方兴未艾,为现代传感技术的深入开发与应用带来了新的机遇。本文综述了新型传感材料,包括硅纳米线、石墨烯、碳纳米管、二维材料、金属有机框架材料、水凝胶材料以及有机半导体材料等在力学传感、声学传感、生物传感、爆炸物监测等方面的应用。讨论了微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)传感器技术,以及柔性可穿戴传感器相关材料、器件结构和制造方法的最新进展。
- 屠海令赵鸿滨魏峰张青竹樊彦艳杜军
- 关键词:传感器件石墨烯有机半导体生物传感微机电系统
- 一种抗电磁干扰的阻变存储器及其制备方法
- 本发明公开了属于微电子技术领域的一种抗电磁干扰的阻变存储器及其制备方法。所述阻变存储器为三明治结构,由三层薄膜构成,包括底电极层、阻变功能层和顶电极层,所述底电极和顶电极层是电磁屏蔽材料Ti<Sub>3</Sub>C<S...
- 赵鸿滨屠海令魏峰杨志民张国成
- InP阻变存储材料的制备方法和应用
- 本发明公开了一种InP阻变存储材料的制备方法和应用,属于微电子制造技术领域。所述制备方法包括以下步骤:1)将单晶InP片作为靶材装入脉冲激光设备腔体内;2)将表面沉积有电极的基片装入脉冲激光设备腔体内;3)将脉冲激光设备...
- 赵鸿滨屠海令魏峰杨志民张国成
- 一种黑磷烯薄膜存储器及其制备方法
- 本发明涉及一种黑磷烯薄膜存储器及其制备方法。黑磷烯薄膜存储器的制备方法包括如下步骤:(1)清洗衬底;(2)在衬底上形成底电极;(3)在底电极上形成黑磷烯薄膜层;(4)通过构图工艺在黑磷烯薄膜层上形成顶电极的图形;(5)在...
- 赵鸿滨屠海令张国成魏峰杨志民姚俊奇
- 文献传递
- 基于纳米片堆叠结构的生化传感器
- 本实用新型公开了一种基于纳米片堆叠结构的生化传感器。该生化传感器包括:SOI衬底、通过选择性刻蚀由牺牲层/敏感材料层构成的多堆叠层而形成的具有敏感材料的多层悬空堆叠结构、形成在多层悬空堆叠结构上的阳电极和阴电极、附着在多...
- 张青竹屠海令魏峰赵鸿滨杜军
- 文献传递
- 磁性传感材料与器件研究进展被引量:8
- 2021年
- 磁性材料是一种既古老又新颖的功能材料,磁性材料本身具有诸多特殊性质,正是基于此类特性,磁性材料可以完成外界物理量与磁信号之间的相互转换,由此制成各种类型的磁性传感器。随着传感器向着智能化、微型化、多功能化、高灵敏度、低功耗、高可靠性发展,新型磁性传感器种类也迅速增加,应用场景愈加广阔。然而,由于人类对磁信号的探测及处理远不如电学信号成熟,磁性传感器的应用仍有诸多问题尚未解决。材料的研究者们更关注新磁学现象,而能成功应用于传感器的磁性材料除了其特有的磁敏特性外,还应根据其具体应用场景提高它的其他物理性能,而传感器的研究者们在解决传感器微型化、高灵敏度等问题时并不会优先从材料角度考虑问题,导致某一类磁性材料从发现到其成熟应用于传感器所经历的周期过长,而很多已发现的磁性材料并未找到合适的应用场景。从材料角度而言,目前在传感器领域应用最多的是磁电阻材料,其广泛应用于位移传感器、角速度传感器、硬盘磁头、非接触电流测量等领域。其他研究较成熟的磁性材料如软磁材料、磁致伸缩材料、磁电复合材料、磁流体材料等在传感器领域也有一定的应用,如力学传感器、生物传感器、光学传感器等。为了使磁性传感器有广泛的应用,磁性材料及磁性传感器的研究者们应从应用角度出发,根据不同应用场景,提出更为全面具体的材料性能要求,以此为目标,对现有的磁性材料进行改性处理,或研发新型磁性材料,加快磁性材料及磁性传感器领域的发展。本文综述了多种磁性材料(包括磁电阻材料、高磁导率软磁材料、巨磁阻抗材料、磁致伸缩材料、磁光材料、磁电复合材料、磁流体材料等)在磁场探测、光学传感、力学传感、生物传感、电流传感等方面的应用以及研究进展,并从
- 门阔赵鸿滨赵鸿滨魏千惠
- 关键词:磁性传感器磁电阻材料磁通门传感器磁光材料磁致伸缩材料磁电复合材料
- 稀土氧化物固态电解质Sm2O3薄膜的阻变存储性能研究
- 赵鸿滨屠海令魏峰于文波张国成
- 一种非易失性阻变存储器件及其制备方法
- 本发明公开了一种非易失性阻变存储器件及其制备方法,属于半导体存储器技术领域。该阻变存储器件包括底电极层铌掺杂钛酸锶、顶电极层Ta金属以及位于所述底电极和顶电极之间的阻变存储功能层,其中,阻变存储功能层材料由在底电极上外延...
- 赵鸿滨张国成屠海令魏峰
- 文献传递
- 一种增强光电效应的石墨烯基半导体光电器件及其制备方法
- 本发明公开了属于光电器件技术领域的一种增强光电效应的石墨烯基半导体光电器件及其制备方法。本发明的石墨烯光电器件,包括背电极、半导体衬底、石墨烯、顶电极以及位于所述石墨烯和顶电极之间的阻挡功能层材料,阻挡功能层材料由一层金...
- 魏峰曾亭杜军熊玉华
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