高论
- 作品数:5 被引量:11H指数:2
- 供职机构:吉林大学机械科学与工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 扫描探针显微镜在超精密加工中的应用被引量:5
- 2003年
- 对扫描探针显微镜(SPM)的基本原理、成像模式及其在超精密加工中的新应用进行了评述。介绍了SPM在微细加工和光刻新技术中的应用。指出纳米级加工机理的研究将依赖于SPM的复合化和多功能化。只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择,从而推进超精密加工技术的发展。
- 高论王丹王立江
- 关键词:SPMSTMAFM超精密加工
- 基于小波变换的AFM图像处理的研究被引量:4
- 2004年
- 根据原子力显微镜 (AFM )图像的特点 ,对小波变换应用于原子力显微镜图像的降噪、增强及融合方法进行了阐述 ,采用原子力显微镜对无磨料低温抛光后的铝合金 (LY1 2 )表面进行检测 ,并利用所述方法对扫描图像进行了处理。结果表明 ,利用小波变换对原子力显微镜图像进行处理是有效的、可行的 。
- 高论刘向阳王昕王立江
- 关键词:小波变换图像降噪图像增强图像融合
- 小波变换在AFM图像处理中的应用研究被引量:1
- 2004年
- 根据原子力显微镜(AFM)图像的特点,对小波变换应用于原子力显微镜图像的降噪、增强及融合方法进行了阐 述,采用原子力显微镜对无磨料低温抛光后的铝合金(LY12)工件表面进行检测,并利用所述方法对扫描图像进行了处 理。结果表明,利用小波变换对原子力显微镜图像进行处理是有效的、可行的,得到满意效果。
- 高论连相明甘新基王立江
- 关键词:小波变换图像降噪图像增强原子力显微镜图像处理
- 提高SPM检测表面形貌精度的研究
- 扫描探针显微镜(SPM)的诞生为超精密加工及其检测技术的迅猛发展起到了推波助澜的作用,为人们研究超精密表面的微观结构及其相互作用提供了有利的手段。本论文的主要研究工作是围绕如何提高SPM的测量精度以及对超精密表面微观形貌...
- 高论
- 关键词:SPM小波变换分形维数超精密加工
- 文献传递
- 无磨料低温抛光件表面分形特性被引量:1
- 2004年
- 利用HL Ⅱ型微机控制原子力显微镜(AFM)系统对无磨料低温抛光件表面的轮廓曲线进行了测量。基于分形理论,分析和讨论了不同工艺参数对表面分形维数D和轮廓算术平均偏差Ra的影响。研究结果表明:D与Ra反映了表面质量的不同方面,它们之间有一定的对应关系,但并不是线性的;对于同样的加工方法,硬质合金材料的D值比铝合金材料的D值大;分形维数可以揭示超光滑表面的表层质量。
- 高论连相明刘向阳王立江
- 关键词:分形维数表面粗糙度超光滑表面