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马莹

作品数：7 被引量：6H指数：1
供职机构：上海大学更多>>
发文基金：上海市教育委员会重点学科基金国家自然科学基金上海市教育委员会创新基金更多>>
相关领域：电子电信核科学技术理学经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 2篇学位论文
  • 2篇专利

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇经济管理
  • 1篇核科学技术
  • 1篇理学

主题

  • 6篇探测器
  • 6篇紫外光探测器
  • 6篇光探测
  • 6篇光探测器
  • 5篇金刚石膜
  • 4篇金刚石薄膜
  • 2篇电学性能
  • 2篇淀积
  • 2篇气相淀积
  • 2篇无机非金属
  • 2篇无机非金属材...
  • 2篇晶粒
  • 2篇晶粒尺寸
  • 2篇化学气相淀积
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻工艺
  • 2篇非金属材料
  • 2篇尺寸
  • 1篇电流
  • 1篇电压

机构

  • 7篇上海大学

作者

  • 7篇马莹
  • 5篇夏义本
  • 5篇王林军
  • 4篇刘健敏
  • 2篇黄健
  • 2篇苏青峰
  • 2篇胡广
  • 2篇祝雪丰
  • 1篇赖建明
  • 1篇唐可
  • 1篇楼燕燕

传媒

  • 1篇光电子．激光
  • 1篇电子器件
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2017
  • 3篇2008
  • 1篇2007
  • 2篇2006
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
CVD金刚石膜紫外光探测器被引量：2
2006年
宽禁带半导体金刚石具有许多独特特性,基于此种材料的紫外光探测器能在高温、强腐蚀和强辐射等恶劣环境下工作,成为近年来紫外探测技术研究的重点课题之一。本文综述了CVD金刚石膜紫外光探测器的研究及应用进展。
马莹王林军刘健敏楼燕燕夏义本
关键词：金刚石膜紫外光探测器
紫外光探测器的制备方法
本发明涉及一种高性能的紫外光探测器的制备方法，属于无机非金属材料器件制造工艺技术领域。本发明方法采用传统的、现有的热丝化学气相淀积装置，在硅片衬底上(100)晶面上淀积金刚石薄膜，再在此金刚石薄膜层上蒸镀一定厚度的金电极...
王林军夏义本马莹苏青峰刘健敏
文献传递
薄膜取向性对金刚石紫外光探测器性能的影响被引量：1
2008年
国际上一般采用任意取向的多晶薄膜作为探测级材料，所以电荷收集效率较低以至于灵敏度受到限制。本实验采用不同取向的多晶金刚石薄膜制作紫外光探测器，研究了薄膜取向性对探测器性能的影响，为进一步提高金刚石薄膜紫外光探测器的性能提供理论和实验依据。采用热丝辅助化学气相沉积（HFCVD）法，获得了晶粒尺寸接近的不同取向的金刚石薄膜。通过微电子加工工艺制备了不同取向的金刚石薄膜紫外光叉指结构探测器。研究表明，探测器性能与金刚石薄膜晶粒取向密切相关，使用（100）取向薄膜所获得的探测器性能明显得到改善，在225nm紫外光下的光电流～暗电流之比以及190-700nm波长范围内的紫外／可见分辨率均优于其它取向。
赖建明王林军刘健敏马莹胡广祝雪丰黄健夏义本
关键词：金刚石膜紫外光探测器取向性
紫外光探测器的制备方法
本发明涉及一种高性能的紫外光探测器的制备方法，属于无机非金属材料器件制造工艺技术领域。本发明方法采用传统的、现有的热丝化学气相淀积装置，在硅片衬底上(100)晶面上淀积金刚石薄膜，再在此金刚石薄膜层上蒸镀一定厚度的金电极...
王林军夏义本马莹苏青峰刘健敏
文献传递
金刚石膜紫外光探测器的设计与工艺研究
金刚石具有独特的电学、光学、热学、优越的物理和化学稳定性能，使金刚石电子器件在高温、强辐射等恶劣的环境下能安全稳定的工作。金刚石的禁带宽度为5.5eV，相当于截止波长为225nm，具有“太阳盲区”特性，基于金刚石薄膜的日...
马莹
关键词：金刚石薄膜紫外光探测器晶粒取向晶粒尺寸电学性能
文献传递
中国高铁技术创新中的合作与竞争——一个新制度主义视角
中国高铁何以凭借掌握领先世界的完全自主知识产权实现行业的跨越式发展,一直是学术界关注的焦点。大多数学者认为中国高铁是举国体制下合作创新的典范,也有些学者针锋相对地指出政府在创新中的过度干预会扼杀竞争从而导致内在创新动力的...
马莹
关键词：高铁政策范式社会建构
文献传递
金刚石薄膜紫外光探测器电流—电压特性的研究被引量：1
2008年
采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了1.8μm、2.5μm和3.1μm三种晶粒尺寸的金刚石薄膜,并制作了共平面光电导探测器。采用光学显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌。电流—电压(I-V)特性测试结果表明,探测器性能与金刚石薄膜晶粒大小密切相关,随着晶粒尺寸的增加,光电流/暗电流之比以及净光电流均提高。
唐可王林军黄健马莹胡广祝雪丰夏义本
关键词：金刚石薄膜紫外光探测器晶粒尺寸电学性能
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