艾春鹏
- 作品数:20 被引量:14H指数:2
- 供职机构:黑龙江大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信文化科学电气工程更多>>
- 一种角度传感器及其制作工艺
- 本发明公开了一种角度传感器及其制作工艺,所述角度传感器包括嵌套设置的转子(1)和定子底座(2),在所述转子(1)的上表面设置有传感器防护板(3),在所述定子底座(2)的中心设置有磁敏感单元,所述转子(1)以磁敏感单元为中...
- 赵晓锋李航艾春鹏温殿忠
- 一种基于压电光电的柔性复合能量采集器及其制作方法
- 本发明涉及能量采集技术领域,具体公开了一种基于压电光电的柔性复合能量采集器及其制作方法。该柔性能量采集器包括导电衬底以及分别设置于导电衬底上的压电模块与光电模块,其中压电模块包括由下向上依次设置的氧化锌纳米棒阵列以及第一...
- 刘红梅王杰平宋佳明赵晓锋窦雁巍艾春鹏
- 基于射频磁控溅射法制备ZnO薄膜研究被引量:1
- 2016年
- 研究射频磁控溅射法制备ZnO薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)和场发射扫描电子显微镜(SEM)研究溅射功率、溅射时间和退火温度对薄膜微结构特性的影响,并分析ZnO薄膜阻变特性。实验结果表明,沉积态薄膜择优取向为〈002〉晶向,随溅射功率和退火温度增加,择优取向显著增强,溅射功率120 W时薄膜生长速率可达4.8 nm/min,薄膜厚度92 nm的ZnO薄膜具有阻变特性且开关比可达104。
- 艾春鹏赵晓锋白忆楠冯清茂温殿忠
- 关键词:ZNO薄膜射频磁控溅射微结构
- 一种脉搏传感器及其集成化工艺方法
- 本发明提供了一种压电式脉搏传感器及其集成化工艺方法,所述压电式脉搏传感器包括力测量结构和抗过载结构,力测量结构安装在抗过载结构上方,力测量结构和抗过载结构均包括力敏感单元,力测量结构还包括柔性覆盖膜,力敏感单元包括弹性衬...
- 赵晓锋袁安怡艾春鹏赵小寒温殿忠
- 一种具有闭环功能的微力加载机构
- 本实用新型公开了一种具有闭环功能的微力加载机构,其中,所述机构包括U型支撑架(1),在所述U型支撑架(1)的内侧面上水平设置有悬臂梁(21),其中,在所述悬臂梁(21)的上表面、靠近自由端处设置有压电驱动结构(211),...
- 赵晓锋李森刘媛媛艾春鹏
- 文献传递
- 新形势下微电子工艺实验教学改革研究被引量:2
- 2019年
- 文章探讨了在新工科建设的新形势下,如何突出黑龙江大学微电子专业微电子器件方向的特色,在现有的微电子工艺实验条件下,将过去的传统、分立实验进行改革,建立一个创新型实验教学体系,从而使学生更牢固地掌握微电子器件及简单集成电路的整个工艺制造技术和测试方法。激发学生主动参与,突出创新能力的培养,创造良好的实验平台。
- 刘红梅王璐艾春鹏孙凤云鞠鑫
- 关键词:微电子工艺实验教学
- 一种具有闭环功能的微力加载机构及其制作工艺与应用
- 本发明公开了一种具有闭环功能的微力加载机构及其制作工艺与应用,其中,所述机构包括U型支撑架(1),在所述U型支撑架(1)的内侧面上水平设置有悬臂梁(21),其中,在所述悬臂梁(21)的上表面、靠近自由端处设置有压电驱动结...
- 赵晓锋李森刘媛媛艾春鹏
- 文献传递
- 一种复合磁场传感器及其制作工艺
- 本发明公开了一种复合磁场传感器及其制作工艺,其中,所述复合磁场传感器包括磁敏三极管和复合在磁敏三极管上的遂穿磁敏电阻(TMR);其中,所述磁敏三极管的集电区设置于发射区的上方,所述基区设置于发射区和集电区的一侧,且所述基...
- 赵晓锋邓祁艾春鹏温殿忠
- 文献传递
- 一种复合磁场传感器
- 本实用新型公开了一种复合磁场传感器,其中,所述复合磁场传感器包括磁敏三极管和复合在磁敏三极管上的遂穿磁敏电阻(TMR);其中,所述磁敏三极管的集电区设置于发射区的上方,所述基区设置于发射区和集电区的一侧,且所述基区制作在...
- 赵晓锋邓祁艾春鹏温殿忠
- 文献传递
- 一种角度传感器及其制作工艺
- 本发明公开了一种角度传感器及其制作工艺,所述角度传感器包括嵌套设置的转子(1)和定子底座(2),在所述转子(1)的上表面设置有传感器防护板(3),在所述定子底座(2)的中心设置有磁敏感单元,所述转子(1)以磁敏感单元为中...
- 赵晓锋李航艾春鹏温殿忠