赵晓锋
- 作品数：117 被引量：55H指数：4
- 供职机构：黑龙江大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金黑龙江省教育厅科学技术研究项目国家级大学生创新创业训练计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学电气工程更多>>
- 一种磁场/加速度集成传感器和集成化工艺方法
- 本发明公开了一种磁场/加速度集成传感器和集成化工艺方法，所述传感器包括设置在同一芯片上的磁场传感器和加速度传感器，磁场传感器磁敏感单元包括硅磁敏三极管和霍尔磁场传感器，其中，霍尔磁场传感器以原位掺杂纳米硅薄膜nc‑Si:...
- 赵晓锋王颖于志鹏温殿忠
- 文献传递
- 单片集成压力/加速度/空间磁场传感器技术
- 针对多功能物理量传感器单片集成化问题，结合异质结硅磁敏三极管和纳米硅薄膜压敏电阻相结合方法，提出一种压力/加速度/空间磁场单片集成化传感器工艺技术。
- 赵晓锋
- SiO2层上沉积纳米多晶硅薄膜及特性研究
- 多晶硅薄膜在薄膜晶体管(TFT)领域具有重要应用，对于TFT，制备结晶度高、载流子迁移率大的多晶硅薄膜具有重要意义。本文采用LPCVD系统以高纯SiH4为气源，在p型4英寸<100>晶向单晶硅衬底SiO2层上制备纳米多晶...
- 赵晓锋王天琦温殿忠
- 关键词：多晶硅薄膜真空退火
- 文献传递
- 采用MEMS技术制作硅磁敏三极管研究
- 该课题主要研究采用MEMS技术在硅片上制作矩形板状立体结构硅磁敏三极管,并对制作的硅磁敏三极管样品基本特性进行实验研究.该文同时对实验结果中所出现的硅磁敏三极管样品负阻特性曲线进行简单分析、讨论,为进一步提高硅磁敏三极管...
- 赵晓锋
- 关键词：MEMS技术负阻特性
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- 采用MEMS制作悬臂梁结构设计模拟与制作工艺研究
- 给出在P型＜100＞晶向单晶硅片表面。采用美国IntelliSuite公司MEMS设计软件,对悬臂梁结构设计进行模拟,给出优化设计的模拟结果,该设计方案较好地解决了悬臂梁结构的削角现象。在此基础上,对悬臂梁结构制作工艺进...
- 赵晓锋王丙利李斌温殿忠
- 关键词：悬臂粱MEMS
- 文献传递
- 一种单片集成空间磁矢量传感器
- 本实用新型公开了一种单片集成空间磁场传感器及其制作工艺，所述传感器包括作为器件层的第一硅片(1)和作为衬底的第二硅片(2)，其中，在第一硅片(1)上设置有六个呈立体结构的硅磁敏三极管，其中两两硅磁敏三极管结合，形成三个磁...
- 赵晓锋白云佳温殿忠张洪泉
- 文献传递
- 一种力/磁多功能传感器
- 本实用新型公开了一种力/磁多功能传感器，该传感器包括用来检测外加磁场的第一悬臂梁1，和用来检测外加力的第二悬臂梁2，并由第一薄膜晶体管TFT1沟道等效电阻R<Sub>1</Sub>、第二薄膜晶体管TFT2沟道等效电阻R<...
- 赵晓锋杨向红温殿忠
- 文献传递
- 基于MEMS技术悬臂梁式脉搏传感器制作与特性研究
- 2016年
- 本文给出悬臂梁式脉搏传感器,该结构由硅悬臂梁和悬臂梁根部四个压敏电阻构成的惠斯通电桥结构组成。基于压阻效应,当悬臂梁顶端受到脉搏力F作用时,悬臂梁发生弹性形变,引起四个扩散压敏电阻阻值发生变化,桥路输出电压变化,实现对脉搏力F的测量。基于MEMS技术在晶向单晶硅衬底实现传感器芯片制作和封装,当工作电压VDD = 5.0 V时,外力F = 100 mg作用下悬臂梁输出电压为111 mV,传感器灵敏度为0.54 mV/mg,准确度为5.90% F.S.。实验结果表明,该悬臂梁结构可实现脉搏力F测量且灵敏度较高。
- 李森陈静李丹丹赵晓锋
- 关键词：脉搏传感器悬臂梁MEMS技术惠斯通电桥
- 一种空间磁场矢量传感器及其制作工艺方法
- 本发明公开了一种空间磁场矢量传感器及其制作工艺方法，所述传感器包括第一磁敏感结构和第二磁敏感结构，第二磁敏感结构设置在第一磁敏感结构中，二者的磁敏感方向正交且磁敏感中心重合。其中，所述第一磁敏感结构由磁敏三极管及负载电阻...
- 赵晓锋柳微微于志鹏温殿忠
- 文献传递
- 一种压力/二维磁场单片集成传感器
- 本实用新型公开了一种压力/二维磁场单片集成传感器，该单片集成传感器包括第一磁敏二极管MD1、第二磁敏二极管MD2、第三磁敏二极管MD3、第四磁敏二极管MD4、第一压敏电阻R<Sub>1</Sub>、第二压敏电阻R<Sub...
- 赵晓锋李宝增温殿忠
- 文献传递
