王小斌
- 作品数：5 被引量：11H指数：3
- 供职机构：西安飞行自动控制研究所更多>>
- 相关领域：交通运输工程理学电子电信更多>>
- 闭环硅微加速度计非线性补偿（英文）被引量：4
- 2016年
- 为了降低闭环硅微加速度计的非线性,分析了其主要误差源并提出了相应的补偿方法。首先,分析了闭环状态下检测质量块偏离几何中心位置所造成的非线性问题,并确定了电路零位是主要误差源;其次,利用闭环反馈控制进行了非线性的优化分析;最后,提出了非线性补偿的工程调试方法。离心试验结果表明,采用该调试方法可将加速度计的非线性减小一个数量级以上。该结果验证了非线性误差分析和补偿方法的有效性,且适用于同批次加工的其它加速度计。
- 肖鹏刘林王小斌孙俊杰余才佳
- 关键词：加速度计反馈控制非线性补偿
- 感应耦合等离子刻蚀技术研究被引量：5
- 2002年
- 依据感应耦合等离子体的刻蚀机理,对影响刻蚀的两个重要参数及先进的硅刻蚀技术进行了较深入的研究,并对影响刻蚀效果的参数进行了实验研究,刻蚀出了20μm深,2μm宽的谐振器结构,得到了最佳的工艺参数。
- 樊红安蒋军彪冯培德王小斌
- 关键词：感应耦合等离子体谐振器硅刻蚀
- 大量程闭环MEMS加速度计非线性分析与优化法被引量：4
- 2016年
- 为研究大量程翘翘板摆式闭环MEMS加速度计系统的输出非线性,分别从质量块受力不平衡所产生的平动效应以及电路零位引起质量块闭环平衡位置偏差两个主要误差源入手,建立了两种误差引起加速度计非线性的数学模型,并采用ANSYS和Simulink软件对传感器结构及系统进行了仿真验证,确定了该模型的正确性及非线性的优化方法。最后,按照以上分析进行了样机制作和离心测试。试验结果表明,通过减小翘翘板摆式结构质量块的平动效应,可将±150g量程加速度计的非线性由5.4979′10-2减小至5.320′10^(-3),在此基础上通过减小质量块闭环平衡位置偏差,可进一步将加速度计的非线性减小至2.772′10^(-3)。
- 肖鹏孙国良刘林王小斌孙俊杰余才佳
- 关键词：大量程MEMS加速度计非线性
- 阳极键合中键合强度及键合变形的研究
- 主要研究了阳极键合过程中键合强度与键合温度、键合电压、键合晶片的平整度和表面粗糙度、晶片表面清洁度、玻璃片厚度及表面亲水性等的关系,对键合引起的变形和减小变形的热处理工艺进行了研究,得到了理想的微机械键合结构.
- 蒋军彪王小斌樊红安魏芳林冯培德
- 关键词：晶片键合键合强度阳极键合微加工
- 文献传递
- 翘翘板摆式MEMS加速度计振动整流误差被引量：1
- 2017年
- MEMS加速度计凭借其体积小、成本低、可靠性高及可批量生产等优势,已经在战术级精度的武器领域得到了广泛应用。但是,在振动环境下的输出误差(振动整流误差)成为其向导航级精度发展的主要指标瓶颈。为了减小MEMS加速度计的振动整流误差,对传感器芯片结构不对称性和电路零位误差引起的力矩器结构非线性进行了理论分析,然后按照振动法测非线性的方式对上述误差源引起的系统级误差模型进行了仿真试验验证,确定了各误差源与加速度计非线性系数间的影响关系。最后,对主要误差源(电路零位)优化前后的MEMS加速度计振动整流误差和非线性系数进行了测试对比,结果表明:优化后,在50~1500 Hz频率范围内MEMS加速度计二阶非线性的最大值可由1E-4g/g^2降至5E-6g/g^2。
- 肖鹏孙国良刘林王小斌孙俊杰余才佳
- 关键词：MEMS加速度计
