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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇软盘
  • 1篇AFM
  • 1篇存储介质

机构

  • 1篇河南理工大学

作者

  • 1篇梁智永
  • 1篇刘万里
  • 1篇闫勇刚
  • 1篇黄俊杰
  • 1篇马强
  • 1篇孙大许

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2005
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
基于AFM检测信息存储介质表面结构的研究被引量:2
2005年
介绍了原子力显微镜(AFM)的工作原理、组成、特点及其应用领域。利用AFM对光盘和软盘表面结构进行了三维检测,使用CSPM2000Imager软件对扫描得到的图像进行了计算和分析,由所得数据可以看出,DVD光盘将取代CD光盘成为外存的主流,而软盘将被淘汰;利用原子力显微镜对单晶硅进行基于金针的纳米加工,刻蚀出“河南理工大学”的字样。
闫勇刚马强黄俊杰刘万里孙大许梁智永
关键词:原子力显微镜软盘
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