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杨楷

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇电桥
  • 2篇电阻
  • 2篇循环气体
  • 2篇射流
  • 2篇速度传感器
  • 2篇热敏电阻
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子机械
  • 2篇微电子机械系...
  • 2篇角速度
  • 2篇角速度传感器
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇单片
  • 1篇单片集成
  • 1篇动部件
  • 1篇射流泵
  • 1篇速率
  • 1篇速率传感器

机构

  • 3篇北京大学

作者

  • 3篇杨楷
  • 3篇周健
  • 2篇闫桂珍
  • 1篇阎桂珍

年份

  • 1篇2007
  • 2篇2005
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
微型射流角速率传感器
本实用新型公开了一种微型射流角速率传感器，包括有底座、盖体、两热敏电阻、谐振驱动器和检测热敏电阻用的检测电路，底座和薄膜盖之间形成空腔，空腔被分为振动腔、检测腔、两个对称的微型射流泵、集流腔和尾气腔，振动腔的气体出口即为...
周健闫桂珍杨楷
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射流角速度传感器及其制备方法
本发明提供了一种射流角速度传感器及其制备工艺，属于微电子机械系统设计及加工领域。该传感器包括两个振动腔、四个整流腔和一个检测腔，振动腔内气体被驱动可循环，在每个振动腔两侧分别设有两个整流腔，被驱动的气体经整流腔流入检测腔...
杨楷周健阎桂珍
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射流角速度传感器及其制备方法
本发明提供了一种射流角速度传感器及其制备工艺，属于微电子机械系统设计及加工领域。该传感器包括两个振动腔、四个整流腔和一个检测腔，振动腔内气体被驱动可循环，在每个振动腔两侧分别设有两个整流腔，被驱动的气体经整流腔流入检测腔...
杨楷周健闫桂珍
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