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李志强
作品数:
2
被引量:24
H指数:1
供职机构:
北京工业大学机械工程与应用电子技术学院
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相关领域:
自动化与计算机技术
化学工程
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合作作者
杨召凯
北京工业大学机械工程与应用电子...
刘德忠
北京工业大学机械工程与应用电子...
陈沛
北京工业大学机械工程与应用电子...
秦飞
北京工业大学机械工程与应用电子...
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2020
1篇
2008
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2
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硅晶圆自旋转磨削过程中磨削力的测量
在晶圆磨削过程中,磨削力是导致晶圆损伤和破坏的根本原因。本文针对硅晶圆自旋转磨削方式设计了一种新型的磨削力无线测量装置。四个薄膜传感器沿径向等距置于晶圆下方。结果表明,磨削力随晶圆半径方向的增大而增大。
李志强
秦飞
陈沛
张理想
关键词:
磨削力
薄膜压力传感器
文献传递
发动机装配生产线平衡问题研究
被引量:24
2008年
装配线平衡问题是装配线规划中的重要组成部分,在工作站数量确定的前提下采用人工平衡法进行装配线的规划,得到多个方案,从中选择接近最佳的方案。以某发动机装配线为案例进行了分析,并使用eM-Plant软件对规划的装配线进行了仿真。
杨召凯
刘德忠
李志强
关键词:
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