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揣荣岩: 作品数：140 被引量：106H指数：5; 供职机构：沈阳工业大学信息科学与工程学院更多>>; 发文基金：国家自然科学基金辽宁省科学技术基金辽宁省高校创新团队支持计划更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学一般工业技术更多>>

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漏电极辅控L形栅型无结晶体管: 本发明涉及一种具有高性能高集成度漏电极辅控L形栅型无结晶体管，所设计的L形栅电极具有大写英文字母L形结构特征，嵌入于单晶硅凹槽内的栅极绝缘层上方；漏电极除与单晶硅凹槽一端的上表面接触之外，还附着在临近该端的栅极绝缘层上。...; 靳晓诗刘溪揣荣岩; 文献传递

多晶硅纳米膜压阻特性与MEMS传感器: 从二十世纪70年代起，多晶硅薄膜的压阻特性开始受到关注，并被用于研制力学量传感器。在随后二十年左右的时间里，多晶硅压阻理论得到了较为系统的研究。其主流的研究成果一直沿用至今，认为晶粒中性区和势垒区对多晶硅的压阻特性都有贡...; 揣荣岩郭浩王健赵豪刘晓为杨理践; 关键词：压阻特性压力传感器加速度传感器

一种以微悬臂梁传感器为核心的微全分析系统芯片: 本发明属于微机电系统领域，涉及一种以微悬臂梁传感器为核心的微全分析系统芯片，该芯片2个进液口通过U‑型进液通道与微混合器连通，微混合器的另一端与固相萃取柱的进液端连接，固相萃取柱内填充有选择性吸附剂，固相萃取柱的出液端通...; 张贺张英杰李新揣荣岩徐文培杨爽; 文献传递

近源栅近漏栅分立控制型无掺杂场效应晶体管: 本发明涉及一种近源栅近漏栅分立控制型无掺杂场效应晶体管，通过采用不掺杂或掺杂浓度低的单晶硅衬底材料，利用近源栅电极、近漏栅电极两个彼此独立控制的栅电极，对比于普通有结和无结场效应晶体管，在避免掺杂工艺导致器件迁移率下降的...; 靳晓诗刘溪揣荣岩

复合钝化多晶硅纳米膜应力分布仿真分析: 2009年; 多晶硅纳米薄膜具有优良的压阻特性,为提高其在传感器应用中的稳定性和可靠性,对这种薄膜的钝化层结构进行了研究。基于压力传感芯片的结构特点,建立了钝化层结构的有限元分析分析模型,给出了应力分布与SiO_2和Si_3N_4钝化层结构之间关系。结果表明:采用Si_3N_4-SiO_2-Si_3N_4复合钝化结构,适当控制各结构层厚度可有效降低热失配引起的内应力。从而给出了降低薄膜内应力的钝化方法,为多晶硅纳米薄膜在压阻式传感器上的应用提供了必要的技术支持。; 揣荣岩张大为孙显龙刘斌李新; 关键词：钝化应力分布有限元压力传感器

功率半导体器件的直接均流技术: 在认真研究双极注入型功率半导体器件通态特性的基础上,结合装置整机厂的并联技术经验,从器件角度,提出了功率半导体器件的直接均流技术,这一技术已得到了成功验证。; 高占成矫健揣荣岩潘福泉; 关键词：功率半导体器件通态特性; 文献传递

基于静电键合过程模型的工艺仿真: 本文介绍了静电键合工艺仿真模型及其过程仿真,对平板电极、单点电极、多点电极的键合电流和键合进程进行了建模,采用动态工艺数据库方法完成了三种静电键合工艺下的可视化编程,实现了静电键合过程的可视化仿真与工艺CAD.; 陈伟平刘晓为张丹揣荣岩; 关键词：工艺数据库; 文献传递网络资源链接

依据马蹄变换的混沌流微混合器被引量：1: 2019年; 为了实现微流控芯片对痕量试样的快速、均匀混合,依据"马蹄变换"数学模型,对流体进行"挤压拉伸"、"弯曲折叠"和"逆变换-交集"操作.基于此借助符号动力学系统计算出了"马蹄变换"后的李雅普诺夫指数,从理论上证明了,当满足"挤压"幅度0<λ<1/2且"拉伸"幅度μ>2时,上述操作能够在低雷诺数的层流条件下,成功诱发混沌流.在此基础上,设计并制作了一款由4个"马蹄变换"混合单元组成,有效混合距离为13 mm的微混合器.利用COMSOL软件得到的数值仿真结果表明:当Re≥1时,流体的佩克莱数Pe≥10,此时微混合器诱发的混沌流将随着流速的加快而增强,并逐步成为促进混合的主要因素;当Re=10时,经4个混合单元后,试样的浓度方差σ=0.054,混合效果接近均匀.对微混合器芯片进行的可视化测试结果表明,荧光显微镜拍摄到的示踪剂颜色变化与仿真结果中的表面浓度云图一致;而不同pH试样的混合测试结果则证明了,基于"马蹄变换"数学模型设计的微混合器能够产生混沌流且实际效果理想.; 张贺揣荣岩李新张冰; 关键词：微流控芯片

高固有频率压阻加速度敏感芯片的结构与特性分析被引量：1: 2022年; 在悬臂梁-质量块MEMS加速度敏感结构的基础上,为提高其固有频率,拓展其应用领域,提出了一种带有直拉直压微梁的新型压阻式加速度敏感芯片,通过在结构中引入敏感微梁,达到均衡提高固有频率和灵敏度的目的。使用有限元法对结构的特性进行了仿真分析,结果表明该结构和普通MEMS加速度敏感结构相比,在保证较高灵敏度及良好线性输出的前提下,显著提高了固有频率,可达其87倍以上,同时改善了过载能力,可提高6倍以上。; 杨宇新揣荣岩张冰姜贵民李新张贺; 关键词：压阻式加速度传感器固有频率过载能力

高g值加速度敏感芯片性能优化的结构分析被引量：1: 2018年; 随着微机电系统(MEMS)技术的发展,出现了高g值加速度敏感芯片,但因所受惯性力巨大,其综合性能难以提升,特别是过载和交叉耦合问题尤为突出。利用有限元法对带有微梁的高g值加速度敏感结构进行了仿真分析,给出了结构优化的设计方法,在保证灵敏度的同时,显著提高芯片固有频率和抗过载能力。在芯片的质量块与边框连接处设计了具有补偿作用的凹槽,有效减小了敏感芯片的交叉耦合。所设计量程为105g的敏感芯片满量程输出约为21.42 m V,固有频率约1.025 MHz,交叉耦合约4.24%,过载可达6.5倍量程以上。; 揣荣岩刘升阳张晓民杨宇新; 关键词：固有频率