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张钢
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供职机构:
华北光电技术研究所
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相关领域:
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合作作者
蔡克理
电子工业部
李献杰
电子工业部
敖金平
电子工业部
赵建中
华北光电技术研究所
曾庆明
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张钢
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MCM倒装焊技术在CMOS-SEED灵巧象素中的应用研究
2000年
介绍了新型 CMOS- SEED灵巧像素结构原理及相关的 MCM倒装焊混合集成技术 ,采用厚光致抗蚀剂作掩模 ,通过磁控溅射和真空蒸发相结合 ,研究了与 CMOS- SEED有关的 In凸点阵列成型、倒装焊、芯片间隙注入及子芯片衬底减薄或去除等关键工艺。
李献杰
曾庆明
蔡克理
敖金平
赵永林
王全树
郭建魁
刘伟吉
徐晓春
张钢
赵建中
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倒装焊
光电集成
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