张荣海
- 作品数：8 被引量：8H指数：2
- 供职机构：清华大学航天航空学院工程力学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金香港特区政府研究资助局资助项目更多>>
- 相关领域：电子电信动力工程及工程热物理自动化与计算机技术理学更多>>
- MEMS器件的热测试和热分析
- 该文的目的是将红外热成像技术应用于微电子机械系统器件的热测试和热分析.发射率是准确测量器件表面真实温度分布的必要参数.该文在使用红外热成像技术进行测试时,注意进行发射率的测试和修正,获得了MEMS器件较为可靠的表面温度....
- 张荣海
- 关键词：热测试红外热成像发射率温度分布
- 采用解耦法和热点法研究集成电路的自热效应
- 2001年
- 自热效应对集成电路的性能和功耗有很大的影响。该文以 HSPICE电路模拟程序为电路模拟的基础 ,以改进的热点温度估算方法为热学模拟的基础 ,采用解耦法实现了集成电路的电热耦合时序模拟软件。给定芯片的版图信息和输入信号模式 ,该软件能够计算芯片的工作温度分布 ,并得到该温度分布下的电路性能 ,与传统的数值方法比较 ,速度快一个数量级以上。采用红外热成像方法测量 THF930 5传真机热印头驱动专用集成电路芯片的工作温度分布 。
- 刘淼周润德贾松良顾毓沁梁新刚张荣海
- 关键词：集成电路红外热成像系统
- 用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性被引量：3
- 2003年
- 微电子机械系统(MEMS)的很多器件均凭借热工作原理,在其设计、性能评估中都需要了解热特性,特别是温度分布的动静态特性。本文用显微红外热成像技术测试分析了气体传感器微热板、微机械热对流加速度计的微加热器、热驱动微热泵芯片的温度分布特性及微辐射热计的热阻特性。在测试中考虑了对象的有效发射率等影响测量精度的系统因素。
- 朱德忠张荣海顾毓沁郝京阳
- 关键词：MEMS红外热成像温度分布
- 微热板的热测试和热分析
- 微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。安的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能。该文针对研制中的气体传感器的微热板，用红外热成像技术进行热测试和分析，获得气体传感器微热板的微小区域的温度分布，为传...
- 顾毓沁张荣海朱德忠孙晓毅阎桂珍唐祯安
- 关键词：气体传感器微热板热测试温度分布红外成像
- 文献传递
- 微热板阵列的热测试和热分析被引量：2
- 2002年
- 集成的阵列式的微传感器是当今传感器发展的一个方向,例如广谱气体传感器,该种传感器需要把多个微热板集成在同一个芯片,形成微热板阵列的器件形式。由于传感器需要在特定的温度条件下工作,因此需要对微热板阵列进行热性能的评估。本文针对研制中的气体传感器的2X2的微热板阵列,用红外热成像技术进行了测试和分析,获得其微小区域的温度分布和一些工作特性,为微传感器的研制和改进提供了实验依据。
- 张荣海顾毓沁朱德忠郝京阳唐祯安
- 关键词：微传感器红外热成像
- 用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性
- 微电子机械系统(MEMS)的很多器件均凭借热工作原理,在其设计、性能评估中都需要了解热特性,特别是温度分布的动静态特性.本文用显微红外热成像技术测试分析了气体传感器微热板、微机械热对流加速度计的微加热器、热驱动微热汞芯片...
- 朱德忠张荣海顾毓沁郝京阳
- 关键词：MEMS红外热成像微电子机械系统
- 文献传递
- 微热板的热测试和热分析被引量：3
- 2001年
- 随着近代高新技术的发展，要求各种探测器微型化。微加工技术的进步，使得微器件制造有了可能，于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能，为此微热板的热测试和热分析成为微传感器的研制、使用和评价所必不可少的工作。 本文件对研制中的气体传感器的微热板，用红外热成像技术进行热测试和分析，获得气体传感器微热板的微小区域的温度分布，为传感器的研制提供了可靠的依据。
- 顾毓沁张荣海朱德忠孙晓毅阎桂珍唐祯安Philip C.H. ChanJohnny K.O. SinI-Ming Shing
- 关键词：微热板传感器红外热成像热测试热分析
- 微热板阵列的热测试和热分析
- 集成的阵列式的微传感器是当今传感器发展的一个方向,例如广谱气体传感器,该种传感器需要把多个微热板集成的同一个芯片,形成微热板阵列的器件形式.由于传感器需要在特定的温度条件下工作,因此需要对微热板阵列进行热性能的评估.本文...
- 张荣海顾毓沁朱德忠郝京阳唐祯安
- 关键词：微传感器红外热成像热特性金属氧化物半导体
- 文献传递
