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常青

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：有色金属研究总院更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 5篇单晶
  • 5篇硅单晶
  • 2篇单晶生长
  • 2篇直拉硅
  • 2篇直拉硅单晶
  • 2篇硅单晶生长
  • 2篇氧
  • 1篇大直径
  • 1篇硅
  • 1篇掺锑

机构

  • 5篇有色金属研究...

作者

  • 5篇常青
  • 5篇张果虎
  • 4篇方锋
  • 4篇吴志强
  • 2篇万关良
  • 2篇郝玉清

传媒

  • 1篇1998年全...
  • 1篇第十一届全国...
  • 1篇1998年全...
  • 1篇第九届全国半...
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 2篇1999
  • 2篇1998
  • 1篇1995
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
Φ300mm硅单晶生长工艺研究
讨论了Φ３００ｍｍ硅单晶生长中新问题，分析了热对流、热场、拉晶工艺以及设备控制对晶体生长的影响，磁场条件和设备稳定控制是Φ３００ｍｍ硅单晶生长的基本条件，热场配置和拉晶工艺是控制大直径单晶的关键。
吴志强张果虎常青方锋
Φ300mm硅单晶生长工艺研究
该文讨论了Φ３００ｍｍ硅单晶生长中新问题，分析了热对流、热场、拉晶工艺以及设备控制对晶体生长的影响，磁场条件和设备稳定控制是Φ３００ｍｍ硅单晶生长的基本条件，热场配置和拉晶工艺是控制大直径单晶的关键。
吴志强张果虎常青方锋
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大直径重掺锑硅单晶及质量问题的研究
张果虎常青
关键词：单晶
Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究
文研究了Φ１２５ｍｍ单晶氧的径向均匀性，为控制氧径向均匀性应首选择Φ１２５ｍｍ热场，增加晶转速度可以改善氧径向均匀性。
郝玉清张果虎常青方锋吴志强万关良
关键词：硅单晶氧
Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究
该语文研究了Φ１２５ｍｍ单晶氧的径向均匀性，为控制氧径向均匀性应首选择Φ１２５ｍｍ热场，增加晶转速度可以改善氧径向均匀性。
郝玉清张果虎常青方锋吴志强万关良
关键词：硅单晶氧
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