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孙笠

作品数：32 被引量：15H指数：2
供职机构：浙江工业大学更多>>
发文基金：浙江省公益性技术应用研究计划项目国家重点实验室开放基金浙江省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 27篇专利
  • 5篇期刊文章

领域

  • 7篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 2篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 11篇阳极键合
  • 11篇键合
  • 10篇纳米
  • 9篇感器
  • 9篇传感
  • 9篇传感器
  • 8篇压阻
  • 8篇压阻式
  • 6篇加速度
  • 5篇滴状冷凝
  • 5篇压痕
  • 5篇杨氏模量
  • 5篇微加工
  • 5篇微米
  • 5篇污染
  • 5篇离子污染
  • 5篇纳米压痕
  • 5篇冷凝
  • 5篇硅表面
  • 4篇压力传感器

机构

  • 32篇浙江工业大学

作者

  • 32篇孙笠
  • 32篇董健
  • 18篇蒋恒
  • 8篇董鹤
  • 2篇张利

传媒

  • 1篇机电工程
  • 1篇固体力学学报
  • 1篇浙江工业大学...
  • 1篇浙江工业大学...
  • 1篇教育进展

年份

  • 1篇2019
  • 3篇2018
  • 8篇2017
  • 5篇2016
  • 1篇2015
  • 14篇2014
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种给定表面二级微纳结构下的液滴接触角求取方法
一种给定表面二级微纳结构下的液滴接触角计算方法，包括以下步骤：采用微纳米几何测量仪进行测量所给定的二级微纳结构的结构尺寸，测得微纳米结构的边长、间距和高度；采用Young方程、Wenzel方程和CB方程推导中的一般假设，...
董健龙芝剑孙笠金焱立董鹤
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一种硅基上非晶硅与玻璃的阳极键合方法及其应用
本发明提供了一种硅基绝缘层上非晶硅与玻璃的阳极键合方法，所述方法为：（1）在硅基底面上沉积一层绝缘层；（2）以光刻胶作掩膜，对绝缘层进行刻蚀，将硅基底面与非晶硅将要连通的区域暴露出来形成开槽区；（3）在开设有开槽区的硅基...
董健蒋恒孙笠
一种压阻式加速度、压力集成传感器及其制造方法
本发明提供了一种基于阳极键合封装的MEMS压阻式加速度、压力集成传感器及其制造方法，所述的传感器同时集成了压阻式加速度传感器和压阻式压力传感器，并且具有第一键合玻璃‑硅基‑第二键合玻璃三明治结构；本发明压阻式加速度、压力...
董健蒋恒孙笠
文献传递
一种滴状冷凝且自集水的微制冷器及其制造方法
一种滴状冷凝且自集水的微制冷器，具有上玻璃板、中间硅片和下玻璃板三层结构，上玻璃板和中间硅片健合形成冷凝器、蒸发器、液体管和蒸汽管，下玻璃板与中间硅片健合形成高温芯片传热区和冷却水管。本发明采用特定的棱台‑半球型微米和纳...
董健金焱立龙芝剑孙笠董鹤
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一种MEMS压阻式加速度传感器及其制造方法
一种MEMS压阻式加速度传感器及其制造方法。本发明提供了一种基于阳极键合封装的MEMS压阻式加速度传感器，所述的传感器具有第一键合玻璃-硅基-第二键合玻璃三明治结构；所述硅基通过采用表面微加工技术与体微加工技术制造带有淡...
董健蒋恒孙笠
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求解Au/SiO<Sub>2</Sub>/Si三层MEMS悬臂梁结构的弹性变形的方法
求解Au/SiO<Sub>2</Sub>/Si三层MEMS悬臂梁结构的弹性变形的方法，包括以下步骤：（1）利用MEMS工艺制作的Au/SiO<Sub>2</Sub>/Si三层悬臂梁结构，其各层杨氏模量和厚度是已知，设杨氏...
蒋恒董健孙笠
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固体薄膜纳米压痕连续测量仪
固体薄膜纳米压痕连续测量仪，包括底座、水平气动定位装置、Z轴定位装置、显微镜瞄准装置，所述的水平气动定位装置包括气浮定位平台底座、兼做X轴气动定位平台的导轨、Y轴气动定位平台、电机轴座、电机、电机推杆、气浮滑块和顶板；所...
董健方沛华孙笠
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微纳二级结构硅表面上液滴接触角的求取方法
一种微纳二级结构硅表面上液滴接触角的求取方法，包括以下步骤：采用微纳米几何测量仪进行测量所给定的二级微纳结构的结构尺寸，测得微纳米结构的边长、间距和高度；采用Young方程、Wenzel方程和CB方程推导中的一般假设，在...
董健龙芝剑孙笠金焱立董鹤
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一种求解Al/Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>/Si三层MEMS悬臂梁结构的弹性变形的方法
求解Al/Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>/Si三层MEMS悬臂梁结构的弹性变形的方法，包括以下步骤：（1）利用MEMS工艺制作的Al/Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>/Si三...
蒋恒董健孙笠
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一种测量磁控溅射铝薄膜的力学特性的方法
一种测量磁控溅射铝薄膜的力学特性的方法，包括：测量出磁控溅射铝薄膜的残余应力σ<Sub>r</Sub>；进行纳米压痕实验，采用球形压头，利用纳米压痕仪得到磁控溅射铝薄膜在每个最大压深值下的加载卸载的压力-压深曲线；利用O...
董健龙芝剑孙笠蒋恒
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