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吕永佳

作品数:5 被引量:0H指数:0
供职机构:北京理工大学更多>>

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

主题

  • 4篇电热
  • 4篇致动器
  • 3篇热膨胀
  • 3篇热膨胀系数
  • 3篇MEMS
  • 2篇电压
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂梁
  • 2篇双金属
  • 2篇金属
  • 2篇工作电压
  • 1篇淀积
  • 1篇锁闭
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微机械
  • 1篇卡头
  • 1篇快速响应
  • 1篇机电系统
  • 1篇仿真
  • 1篇杠杆式

机构

  • 5篇北京理工大学

作者

  • 5篇吕永佳
  • 4篇宋荣昌
  • 2篇娄文忠
  • 1篇刘传钦
  • 1篇赵越

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2011
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
MEMS电热双晶体致动器
本发明涉及的是一种在通电状态下工作的双金属电热致动器,具体的说是电热致动器由主体三层材料构成,上下两层热膨胀系数差异较大的材料和一种夹在热膨胀系数较大材料中间的电加热层材料,为了配合MEMS加工工艺,并且提高结构效率,本...
宋荣昌吕永佳娄文忠赵越
文献传递
MEMS杠杆式片状互锁机构
一种杠杆式片状互锁的微机电系统(MEMS)机构,涉及MEMS结构和精确定位技术,属微机械领域。整个机构为一片状结构,该机构能在加速度较低的情况下使滑块移动,移动到预定位置时与杠杆互锁,准确定位,并且在反向的力作用时不易脱...
宋荣昌娄文忠刘传钦吕永佳
文献传递
一种MEMS电热致动器及其制造工艺
本发明涉及一种MEMS电热致动器及其制造工艺,解决了独立加工的问题,实现了工作电压小、变形大、功耗小和反应快。电热致动器为悬臂梁,梁(2)包括上层(7)、中层(5)、下层(3)、粘合层(4)和绝缘层(6),上层材料和下层...
宋荣昌关平陈庆森申跃跃吕永佳
文献传递
MEMS引信电热致动器研究
吕永佳
一种MEMS电热致动器及其制造工艺
本发明涉及一种MEMS电热致动器及其制造工艺,解决了独立加工的问题,实现了工作电压小、变形大、功耗小和反应快。电热致动器为悬臂梁,梁(2)包括上层(7)、中层(5)、下层(3)、粘合层(4)和绝缘层(6),上层材料和下层...
宋荣昌关平陈庆森申跃跃吕永佳
文献传递
共1页<1>
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