乔遂龙
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学机电工程学院机器人研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划长江学者和创新团队发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 硅片处理预对准系统的研究被引量：8
- 2007年
- 介绍了所研制的12 in硅片预对准系统.首先,根据硅片预对准系统的任务和流程设计了系统的结构.其次,设计了预对准检测算法,采用最小二乘圆法对硅片圆心进行定位;提出了检测硅片缺口的边缘变化率法和计算缺口基准点的曲线拟合法.对预对准系统进行了误差分析.最后,采用光学式预对准方法,对12 in硅片进行了预对准实验研究.实验结果表明硅片缺口的重复定位精度小于4.8μm,预对准时间为23 s,满足设计要求.
- 荣伟彬宋亦旭乔遂龙孙立宁赵雁南李春江
- 微定位仿生机器人的设计与实验研究
- 2005年
- 根据尺蠖运动原理设计了一种新型微定位仿生运动模块,以压电陶瓷作为驱动元件,柔性铰链为导向机构,实现大范围移动和高精度定位。采用模块化设计思想,将两个运动模块集成,研制成功两维微定位仿生运动机器人。研制压电陶瓷驱动双重杠杆放大的刻字作业工具,并与微定位机器人结合实现了光盘表面的刻字作业,验证了系统的有效性。
- 曲东升陈立国李满天乔遂龙
- 关键词：微定位仿生机器人
- 嵌入式晶圆预对准控制系统的研究
- 在21世纪，微电子技术是信息产业的主要技术支撑之一，光刻技术一直是推动集成电路(IC)制造业向前发展的关键技术之一，广泛应用于电子封装、光电设备、探测器、MEMS设备和显示器等领域。 本课题主要研制用于12英寸晶圆预对...
- 乔遂龙
- 关键词：嵌入式控制系统控制精度
- 文献传递
