项金娟
- 作品数：7 被引量：6H指数：1
- 供职机构：哈尔滨理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金黑龙江省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 基于激光微加工Al2O3微结构Cl2传感器的制作及性能研究
- 本文以膜厚为250 μm的Al2O3膜为微结构基板、95＃Al2O3瓷板为微壳结构体,设计并采用激光微加工技术制作了具有Φ0.2 mm微孔通道的微结构传感器.阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程,并通过真空镀膜形成气...
- 施云波张洪泉胡竹平冯桥华项金娟郭建英
- 关键词：激光微加工微结构
- 文献传递
- PdPc-PANI杂化有机半导体膜及气敏机理的研究
- 随着人们对环保的日益重视,对毒气传感器的研究有重要意义。目前气体传感器主要是采用无机半导体法,它存在着方法复杂、成本高、精度低等问题;而有机半导体由于成本低、制膜工艺简单、易与其它技术兼容、常温下工作等优点,已成为研究的...
- 项金娟
- 关键词：聚苯胺涂膜杂化
- 文献传递
- 基于PdPc-PANI杂化有机半导体气体传感器研究
- 阐述了以对甲基苯酚、4-硝基邻苯二晴、H2PdCl6为原料,在N2保护和碳酸钾的催化作用下,采用'摸扳法'合成酞菁钯(PdPc);以苯胺为原料,在酸性条件和重铬酸钾的催化作用下,采用'共溶蒸馏法'合成导电型聚苯胺(PAN...
- 施云波张洪泉项金娟郭建英
- 关键词：有机半导体气体传感器有毒气体
- 文献传递
- 基于激光微加工Al_2O_3微结构Cl_2传感器的制作及性能研究被引量：1
- 2006年
- 以膜厚为250μm的Al2O3膜为微结构基板、95# Al2O3瓷板为微壳结构体，设计并采用激光微加工技术制作了具有Ф0．2mm微孔通道的微结构传感器．阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程，并通过真空镀膜形成气敏膜．实现了主动吸气的检测模式，提高了响应时间和气敏性．通过SEM分析得到了良好的表面形貌和膜尺寸，用做电极和加热器Pt膜厚为500nm，敏感膜厚为150nm，微壳深度为150～200μm测试结果表明对Cl2具有较好的敏感响应，灵敏度为0．01％浓度下0．25倍，并呈现P型半导体的变化规律．研究了通气状态和加热电压对传感器响应和气敏性的影响．
- 施云波张洪泉胡竹平冯桥华项金娟郭建英
- 关键词：激光微加工
- 多孔电极平板结构的PdPc/H_2PtCl_6杂化有机半导体毒气传感器的研究被引量：4
- 2006年
- 采用“摸扳法”以对甲基苯酚、4-硝基邻苯二晴为原材料，以N，N二甲基甲酰胺为溶剂，在N2保护和碳酸钾的催化作用下，合成了酞菁分子碎片，通过质谱分析确定了相对分子质量为243（理论值为243．34），验证了工艺过程的正确性。以共溶技术将分子碎片与氯化钯在正戊醇、DBU作用下合成墨绿色四取代对甲苯氧基PdPc，通过红外吸收光谱分析验证了其吸收峰的测量值与理论值基本吻合，确定了合成反应终产物，进而以一定比例将PdPc、HzPtCle共溶在甲醇溶液中，在30～50℃下48h杂化合成为有机半导体气敏材料。依据欧姆定律，并以激光微加工、半导体技术设计、制诈了多孔电极平板结构，增大电极面积，降低了电极间距，比常用叉指电极结构的电阻降低了10。倍以上，使其电导率接近无机半导体数量级，利于后续电路信号采集。通过电镜观察了多孔电极的微观SEM形貌，确定其为连续、多孔的表面态，气孔在Ф0．1～Ф2μm，既保证了导电，又有透气的特征。以真空镀膜技术将气敏材料形成气敏膜，电镜观察其气敏膜的微观SEM形貌，基本层膜厚2μm，并有Ф0．1～Ф5μm微球结晶体嵌入，分布匀一，呈现继续互融生长趋势。以静态法测量其气敏特性，结果表明传感器对NO2呈N型半导体，0．010％气体浓度下灵敏度为7．45倍；对NO呈P型半导体，0．010％气体浓度下灵敏度为0．25倍；响应时间为90s。对气体不同的变化规律说明其的气敏机理与气体性能有关。
- 施云波张洪泉项金娟冯侨华胡竹平郭建英
- 关键词：多孔电极平板结构有机半导体杂化半导体传感器
- PANI修饰PdPc有机半导体膜制作及其气敏特性分析
- 2007年
- 利用涂膜工艺在平面电极上制作了酞菁钯(PdPc)掺杂聚苯胺(PANI)薄膜元件,用静态配气法对0.01﹪浓度Cl2进行气敏特性测试。结果表明,掺杂比为5:1的复合膜具有很好的敏感性。SEM显示其具有良好的吸附和脱附性能,并对其敏感机理进行了初步讨论。
- 项金娟殷景华施云波
- 关键词：涂膜气敏特性
- 基于PdPc-PANI杂化有机半导体气体传感器研究
- 2006年
- 阐述了以对甲基苯酚、4-硝基邻苯二晴、H2PdCl6为原料,在N2保护和碳酸钾的催化作用下,采用“摸扳法”合成酞菁钯(PdPc);以苯胺为原料,在酸性条件和重铬酸钾的催化作用下,采用“共溶蒸馏法”合成导电型聚苯胺(PANI),再通过共溶技术将PdPc和PANI在正戊醇、DBU作用下生成PdPc-PANI杂化有机半导体粉末,再采用平板电极结构结合真空镀技术制成薄膜型气敏传感器。通过TG-DSC确定了成膜工艺条件,电子扫描观察了气敏膜的微观形貌。性能测试表明,传感器对CH2O、NO2和SO2等有毒气体有较好的敏感性和选择性。
- 施云波张洪泉项金娟郭建英
- 关键词：有机半导体
