您的位置： 专家智库 > >

冯桥华

作品数：6 被引量：1H指数：1
供职机构：哈尔滨理工大学更多>>
发文基金：黑龙江省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电化学
  • 2篇电极
  • 2篇性能研究
  • 2篇制版
  • 2篇热电阻
  • 2篇微加工
  • 2篇微结构
  • 2篇狭缝
  • 2篇氯化铜溶液
  • 2篇敏感膜
  • 2篇基板
  • 2篇激光
  • 2篇激光微加工
  • 2篇SUB
  • 2篇铂热电阻
  • 2篇超薄膜
  • 2篇超声
  • 2篇超声清洗
  • 1篇AL
  • 1篇CL

机构

  • 6篇哈尔滨理工大...

作者

  • 6篇冯桥华
  • 6篇施云波
  • 6篇郭建英
  • 4篇丁喜波
  • 4篇时强
  • 2篇项金娟
  • 2篇胡竹平

传媒

  • 1篇传感技术学报
  • 1篇第八届中国微...

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 2篇2007
  • 2篇2006
共 6 条 记 录，以下是 1-6
全选 清除 导出
排序方式：
微型铂热电阻温度传感器的镶嵌式电极引出方法
微型铂热电阻温度传感器的镶嵌式电极引出方法，它涉及一种电极引出方法。它为了满足超薄体的要求，本发明步骤如下：一、清洗Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>基板(1)；二、激光刻槽：采用激光器加工Al<Su...
施云波郭建英张洪泉丁喜波时强冯桥华
文献传递
基于激光微加工Al2O3微结构Cl2传感器的制作及性能研究
本文以膜厚为250 μm的Al2O3膜为微结构基板、95＃Al2O3瓷板为微壳结构体,设计并采用激光微加工技术制作了具有Φ0.2 mm微孔通道的微结构传感器.阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程,并通过真空镀膜形成气...
施云波张洪泉胡竹平冯桥华项金娟郭建英
关键词：激光微加工微结构
文献传递
基于激光微加工Al_2O_3微结构Cl_2传感器的制作及性能研究被引量：1
2006年
以膜厚为250μm的Al2O3膜为微结构基板、95# Al2O3瓷板为微壳结构体，设计并采用激光微加工技术制作了具有Ф0．2mm微孔通道的微结构传感器．阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程，并通过真空镀膜形成气敏膜．实现了主动吸气的检测模式，提高了响应时间和气敏性．通过SEM分析得到了良好的表面形貌和膜尺寸，用做电极和加热器Pt膜厚为500nm，敏感膜厚为150nm，微壳深度为150～200μm测试结果表明对Cl2具有较好的敏感响应，灵敏度为0．01％浓度下0．25倍，并呈现P型半导体的变化规律．研究了通气状态和加热电压对传感器响应和气敏性的影响．
施云波张洪泉胡竹平冯桥华项金娟郭建英
关键词：激光微加工
电化学定向生长Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>超薄膜基板的制造方法
电化学定向生长Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>超薄膜基板的制造方法，本发明涉及Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>膜基板的制造方法。它解决了采取陶瓷工艺制作的Al<Sub>2</S...
施云波郭建英张洪泉丁喜波时强冯桥华
文献传递
微型铂热电阻温度传感器的镶嵌式电极引出方法
微型铂热电阻温度传感器的镶嵌式电极引出方法，它涉及一种电极引出方法。它为了满足超薄体的要求，本发明步骤如下：一：清洗Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>基板(1)；二：激光刻槽：采用激光器加工Al<Su...
施云波郭建英张洪泉丁喜波时强冯桥华
文献传递
电化学定向生长Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>超薄膜基板的制造方法
电化学定向生长Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>超薄膜基板的制造方法，本发明涉及Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>膜基板的制造方法。它解决了采取陶瓷工艺制作的Al<Sub>2</S...
施云波郭建英张洪泉丁喜波时强冯桥华
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0