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陈旺寿
作品数:
18
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供职机构:
深圳先进技术研究院
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相关领域:
化学工程
电气工程
自动化与计算机技术
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合作作者
刘壮
深圳先进技术研究院
张撷秋
深圳先进技术研究院
肖旭东
香港中文大学
肖旭东
深圳先进技术研究院
宋秋明
深圳先进技术研究院
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香港中文大学
作者
18篇
陈旺寿
14篇
刘壮
12篇
张撷秋
4篇
肖旭东
2篇
强骥鹏
2篇
施成营
2篇
宋秋明
2篇
肖旭东
年份
1篇
2023
4篇
2019
2篇
2018
5篇
2017
1篇
2015
1篇
2014
3篇
2013
1篇
2011
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一种可控线性蒸发装置及镀膜方法
本发明涉及一种可控线性蒸发装置及蒸发镀膜方法,该可控线性蒸发源包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器,所述坩埚和所述导管构成线性蒸发源,在所述导管和所述坩埚之间设置可控性阀门,来控制所述坩埚内材料气体的压力,进而在较短时...
张撷秋
崔骏
刘壮
杨世航
陈旺寿
李霖
文献传递
真空镀膜设备的检测系统
本发明提供一种真空镀膜设备的检测系统,所述检测系统包括控制装置和检测装置,所述检测装置包括摄像头和驱动结构,所述摄像头与所述驱动结构连接,所述控制装置包括控制单元,所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄,所述控制...
崔骏
刘壮
张撷秋
杨世航
陈旺寿
李霖
钟国华
文献传递
一种自旋转立式镀膜基架及镀膜设备
本发明公开了一种自旋转立式镀膜基架,包括基架本体和支架,所述基架本体包括顶部的第一导向部和底部的第二导向部,所述支架用于承载待镀膜的样品,可旋转地设于所述基架本体上。本发明还公开了一种镀膜设备。本发明能够实现了流水线式生...
崔骏
刘壮
张撷秋
杨世航
陈旺寿
李霖
钟国华
文献传递
一种自旋转立式镀膜基架及镀膜设备
本发明公开了一种自旋转立式镀膜基架,包括基架本体和支架,所述基架本体包括顶部的第一导向部和底部的第二导向部,所述支架用于承载待镀膜的样品,可旋转地设于所述基架本体上。本发明还公开了一种镀膜设备。本发明能够实现了流水线式生...
崔骏
刘壮
张撷秋
杨世航
陈旺寿
李霖
钟国华
制备铜铟镓硒光吸收层的装置和方法
一种制备铜铟镓硒光吸收层的装置,包括真空系统和衬底传动系统,由真空系统维持真空的进样室、镀膜室及出样室;衬底传动系统包括衬底传动装置和衬底装载装置;镀膜室包括第一镀膜室,用于在衬底上沉积铟、镓和硒,并维持衬底温度在350...
陈旺寿
肖旭东
张撷秋
刘壮
顾光一
杨春雷
宋秋明
文献传递
玻璃基片装载装置及立式镀膜装置
一种玻璃基片装载装置,包括:与地面垂直设置的框架,框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口,窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸;相互间隔设置的两个连接件,每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连,另一端与玻璃基片的顶部可转...
陈旺寿
肖旭东
张撷秋
刘壮
顾光一
杨春雷
宋秋明
文献传递
薄膜光伏电池及其制造方法
本发明涉及一种薄膜光伏电池及其制造方法。所述薄膜光伏电池包括衬底、电极层、p型吸收层、n型缓冲层、高阻层、窗口层;所述衬底、电极层、p型吸收层、n型缓冲层、高阻层、窗口层按着从下到上的顺序层叠设置;所述窗口层是近红外波段...
宋秋明
肖旭东
强骥鹏
施成营
刘壮
陈旺寿
薄膜太阳能电池刻划装置及方法
本发明涉及一种薄膜太阳能电池刻划装置及方法,包括:工作台;第一导轨,设置于工作台上,用于滑动承载薄膜太阳能电池;第二导轨,设置于工作台上,且位于第一导轨的上方,第二导轨的延伸方向与第一导轨的延伸方向正交,并与多条预划线的...
张撷秋
杨世航
崔骏
刘壮
陈旺寿
李霖
一种可控线性蒸发装置及镀膜方法
本发明涉及一种可控线性蒸发装置及蒸发镀膜方法,该可控线性蒸发源包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器,所述坩埚和所述导管构成线性蒸发源,在所述导管和所述坩埚之间设置可控性阀门,来控制所述坩埚内材料气体的压力,进而在较短时...
张撷秋
崔骏
刘壮
杨世航
陈旺寿
李霖
溅射镀膜设备及其镀膜腔室
本发明涉及一种溅射镀膜设备及其镀膜腔室,镀膜腔室包括:外壳,所述外壳围成镀膜腔,所述外壳包括底壁、前壁及与所述前壁相对的后壁;阴极,设置于所述前壁上,且沿所述前壁排列;基架,可滑动地设置于所述底壁上,所述基架的运动方向与...
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