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张撷秋

作品数：22 被引量：0H指数：0
供职机构：深圳先进技术研究院更多>>
相关领域：化学工程电气工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇中文专利

领域

  • 4篇化学工程
  • 2篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 13篇坩埚
  • 8篇镀膜
  • 7篇蒸发
  • 6篇镀膜设备
  • 6篇热蒸发
  • 5篇加热器
  • 4篇真空镀膜
  • 4篇平衡态
  • 4篇非平衡态
  • 3篇导管
  • 3篇电池
  • 3篇蒸发装置
  • 3篇太阳能
  • 3篇太阳能电池
  • 3篇格栅
  • 3篇阀门
  • 2篇导热
  • 2篇电池板
  • 2篇镀膜材料
  • 2篇镀膜工艺

机构

  • 22篇深圳先进技术...
  • 2篇香港中文大学

作者

  • 22篇张撷秋
  • 20篇刘壮
  • 12篇陈旺寿
  • 2篇肖旭东

年份

  • 1篇2023
  • 4篇2019
  • 10篇2018
  • 5篇2017
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种可控线性蒸发装置及镀膜方法
本发明涉及一种可控线性蒸发装置及蒸发镀膜方法，该可控线性蒸发源包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器，所述坩埚和所述导管构成线性蒸发源，在所述导管和所述坩埚之间设置可控性阀门，来控制所述坩埚内材料气体的压力，进而在较短时...
张撷秋崔骏刘壮杨世航陈旺寿李霖
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导热结构及加热蒸发组件
本发明公开了一种导热结构，包括若干根导热管，每根所述导热管为内部中空且具有开口的管状体，所述若干根导热管的外壁相互贴合固定，并且贴合在一起的所述若干根导热管的径向方向的截面形状呈格栅形状。本发明还提供了一种加热蒸发组件，...
刘壮张撷秋杨世航黄俏俏
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线性蒸发源及连续式蒸镀设备
本实用新型公开了一种线性蒸发源，包括：坩埚，用于对材料进行第一次蒸发；第一加热器，用于加热坩埚；喷射管，喷射管与坩埚连通，用于对材料进行第二次蒸发，喷射管包括管本体以及若干个喷嘴，若干个喷嘴沿管本体的长度方向排列于管本体...
杨世航刘壮张撷秋崔骏李霖
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热蒸发镀膜设备的热蒸发源
一种热蒸发镀膜设备的热蒸发源，包括用于沉积薄膜的衬底、用于装载蒸发材料的坩埚，及用于加热所述坩埚的加热组件；所述坩埚上设有多个与所述衬底相对的喷嘴，所述多个喷嘴中的每两个相邻喷嘴之间的距离不全相等。采用非均匀分布的喷嘴排...
张撷秋肖旭东陈旺寿宋建军刘壮顾光一杨春雷
溅射镀膜设备及其镀膜腔室
本发明涉及一种溅射镀膜设备及其镀膜腔室，镀膜腔室包括：外壳，所述外壳围成镀膜腔，所述外壳包括底壁、前壁及与所述前壁相对的后壁；阴极，设置于所述前壁上，且沿所述前壁排列；基架，可滑动地设置于所述底壁上，所述基架的运动方向与...
刘壮崔骏张撷秋杨世航陈旺寿李霖顾光一
太阳能电池板及其封装方法
本发明涉及一种太阳能电池板及其封装方法；太阳能电池板包括：背板，为板状结构；电池模组，为多层层状结构，设置于所述背板上；及，盖板，为板状结构，所述盖板盖设于所述电池模组上，所述盖板、所述电池模组及所述背板依次层叠，所述盖...
刘壮崔骏杨世航陈旺寿张撷秋李霖顾光一
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真空镀膜设备的检测系统
本发明提供一种真空镀膜设备的检测系统，所述检测系统包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述摄像头与所述驱动结构连接，所述控制装置包括控制单元，所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄，所述控制...
崔骏刘壮张撷秋杨世航陈旺寿李霖钟国华
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导热结构及加热蒸发组件
本实用新型公开了一种导热结构，包括若干根导热管，每根所述导热管为内部中空且具有开口的管状体，所述若干根导热管的外壁相互贴合固定，并且贴合在一起的所述若干根导热管的径向方向的截面形状呈格栅形状。本实用新型还提供了一种加热蒸...
刘壮张撷秋杨世航黄俏俏
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一种自旋转立式镀膜基架及镀膜设备
本发明公开了一种自旋转立式镀膜基架，包括基架本体和支架，所述基架本体包括顶部的第一导向部和底部的第二导向部，所述支架用于承载待镀膜的样品，可旋转地设于所述基架本体上。本发明还公开了一种镀膜设备。本发明能够实现了流水线式生...
崔骏刘壮张撷秋杨世航陈旺寿李霖钟国华
一种具有导热件的热蒸发坩埚组件
本实用新型公开了一种具有导热件的热蒸发坩埚组件，包括坩埚本体及导热件，坩埚本体设有腔体，导热件嵌于腔体内且与腔体表面接触以进行热量传递，导热件上设有多个在高度方向连通的气体蒸发通道，气体蒸发通道用于导出坩埚本体内产生的蒸...
刘壮张撷秋杨世航
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