您的位置： 专家智库 > >

陈元瑞

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第十一研究所更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇倒角
  • 3篇锑化铟
  • 3篇晶片
  • 2篇研磨工艺
  • 2篇砂轮
  • 2篇自转
  • 2篇磨工
  • 2篇晶晶
  • 2篇晶圆
  • 2篇非规则
  • 2篇INSB
  • 1篇多晶
  • 1篇碳膜
  • 1篇提纯
  • 1篇提纯方法
  • 1篇碳
  • 1篇不完全燃烧

机构

  • 5篇中国电子科技...

作者

  • 5篇陈元瑞
  • 4篇程鹏
  • 3篇程波
  • 3篇赵超
  • 2篇王森林
  • 2篇王志芳
  • 2篇王燕华

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2016
  • 1篇2014
  • 1篇2011
共 5 条 记 录，以下是 1-5
全选 清除 导出
排序方式：
一种对InSb进行割圆倒角的装置
本发明公开了一种对InSb进行割圆倒角的装置，本发明主要用于非规则形状的InSb晶圆的制备工艺中，解决InSb单晶晶锭利用率低的问题。通过采用新型的割圆倒角工艺，可以使InSb单晶晶锭在切割成晶片以后再进行割圆，并在同一...
赵超陈元瑞程鹏
一种锑化铟晶片的磨削方法
本发明公开了一种锑化铟晶片的磨削方法，所述方法包括以下步骤：对待加工的锑化铟晶片进行图像预采集识别，获得所述锑化铟晶片的中心位置数据；根据所述锑化铟晶片的中心位置数据，设置磨削参数；使所述锑化铟晶片纵向运动，且纵向运动过...
王志芳王燕华程波陈元瑞程鹏王森林
一种对InSb进行割圆倒角的装置
本发明公开了一种对InSb进行割圆倒角的装置，本发明主要用于非规则形状的InSb晶圆的制备工艺中，解决InSb单晶晶锭利用率低的问题。通过采用新型的割圆倒角工艺，可以使InSb单晶晶锭在切割成晶片以后再进行割圆，并在同一...
赵超陈元瑞程鹏
文献传递
一种锑化铟晶片的磨削方法
本发明公开了一种锑化铟晶片的磨削方法，所述方法包括以下步骤：对待加工的锑化铟晶片进行图像预采集识别，获得所述锑化铟晶片的中心位置数据；根据所述锑化铟晶片的中心位置数据，设置磨削参数；使所述锑化铟晶片纵向运动，且纵向运动过...
王志芳王燕华程波陈元瑞程鹏王森林
文献传递
石英舟熏碳方法及锑化铟提纯方法
本发明公开了一种石英舟熏碳方法及锑化铟提纯方法，其中所述石英舟熏碳方法包括以下步骤：向熏碳装置中注入丙酮以使熏碳装置的定性滤纸上浸有丙酮；点燃所述熏碳装置的定性滤纸，以使丙酮燃烧；利用所述丙酮不完全燃烧时产生的碳微粒对石...
程波陈元瑞赵超
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0