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赵超
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28
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H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团第十一研究所
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电子电信
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合作作者
折伟林
中国电子科技集团第十一研究所
程鹏
中国电子科技集团第十一研究所
程波
中国电子科技集团第十一研究所
陈元瑞
中国电子科技集团第十一研究所
刘铭
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一种对InSb进行割圆倒角的装置
本发明公开了一种对InSb进行割圆倒角的装置,本发明主要用于非规则形状的InSb晶圆的制备工艺中,解决InSb单晶晶锭利用率低的问题。通过采用新型的割圆倒角工艺,可以使InSb单晶晶锭在切割成晶片以后再进行割圆,并在同一...
赵超
陈元瑞
程鹏
文献传递
一种碲镉汞雪崩探测器器件结构及雪崩探测器
本申请公开了一种碲镉汞雪崩探测器器件结构及雪崩探测器,涉及半导体技术,包括衬底层、p型收集层、吸收层、过渡层、漂移增强层、i型倍增层及n型收集层等。通过设置漂移增强层HgCdTe层,Cd组分采用阶梯状缓变以保持能级缓慢过...
何温
折伟林
邢伟荣
赵超
王丹
王鑫
郝斐
刘铭
一种碲镉汞平面pn结红外探测器半导体器件及其制备方法
本发明提出了一种碲镉汞平面pn结红外探测器半导体器件及其制备方法,半导体器件包括:器件下层和复合过渡层。复合过渡层由过渡层和器件上层复合。过渡层包括主体部和延伸部,主体部平行于器件下层,延伸部沿垂直于主体部并朝向远离器件...
何温
折伟林
喻松林
赵超
邢伟荣
杨海燕
一种外延InSb衬底的表面处理方法
本发明公开了一种外延InSb衬底的表面处理方法,包括:步骤1,清洗待处理的InSb晶片,并将清洗后的InSb晶片进行干燥处理;步骤2,配制腐蚀液,并将干燥处理后的InSb晶片放入腐蚀液中进行湿化学处理;其中,配制的腐蚀液...
程鹏
赵超
刘铭
文献传递
低掺N型锑化铟InSb晶体掺杂方法
本发明公开了一种低掺N型锑化铟InSb晶体掺杂方法。低掺N型锑化铟InSb晶体掺杂方法,包括:获取高纯度的InSb锭条,并选取InSb锭条中导电类型为N型且载流子浓度低于掺杂后目标晶体要求浓度的部分作为原料;基于掺杂后目...
程波
赵超
一种锑化铟晶片化学抛光方法
本发明提出了一种锑化铟晶片化学抛光方法。其中,机械化学抛光完成后,将粘结有锑化铟晶片的抛光盘倒置于盛有0.005%~10%的溴甲醇化学抛光液的抛光槽内,使得所述锑化铟晶片的表面朝向所述抛光槽的底部并且所述锑化铟晶片浸没于...
赵超
程鹏
一种大尺寸锑化物晶体材料切割定向以及断段方法
本发明涉及一种大尺寸锑化物晶体材料切割定向以及断段方法,包括:将大尺寸非规则锑化物晶体固定到经过特殊设计的石墨托上;将石墨托固定到切割机的基准台面上,基准台面下方设置有双方向转台以及平移平台,双方向转台用于调整石墨托相对...
赵超
董涛
折伟林
王小龙
一种对InSb进行割圆倒角的装置
本发明公开了一种对InSb进行割圆倒角的装置,本发明主要用于非规则形状的InSb晶圆的制备工艺中,解决InSb单晶晶锭利用率低的问题。通过采用新型的割圆倒角工艺,可以使InSb单晶晶锭在切割成晶片以后再进行割圆,并在同一...
赵超
陈元瑞
程鹏
锑化铟晶片的电学均匀性研究
2020年
锑化铟焦平面探测器是红外成像系统的重要组成部分,对红外成像的成本和性能都有重要影响。锑化铟晶片的质量及均匀性决定了探测器的性能。通过霍尔效应测试、低温探针法以及微波光电导衰退法研究了锑化铟晶片的电学性能均匀性。结果表明,所制备的锑化铟晶片的载流子浓度和电子迁移率的面分布较均匀,但低温电阻率以及少子寿命的分布呈现较小的非均匀性变化,这主要与锑化铟生长过程中的杂质分凝有关。
董涛
赵超
柏伟
申晨
吴卿
关键词:
锑化铟
电学性能
均匀性
一种锑化铟晶片化学抛光方法
本发明提出了一种锑化铟晶片化学抛光方法。其中,机械化学抛光完成后,将粘结有锑化铟晶片的抛光盘倒置于盛有0.005%~10%的溴甲醇化学抛光液的抛光槽内,使得所述锑化铟晶片的表面朝向所述抛光槽的底部并且所述锑化铟晶片浸没于...
赵超
程鹏
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