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郭恩卿
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33
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中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
伊晓燕
中国科学院半导体研究所
刘志强
中国科学院半导体研究所
王国宏
中国科学院半导体研究所
汪炼成
中国科学院半导体研究所
李晋闽
中国科学院半导体研究所
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氮化镓基垂直结构发光二极管转移衬底的腐蚀方法
一种氮化镓基垂直结构发光二极管转移衬底的腐蚀方法,包括:步骤1:选择一外延结构,该外延结构包括蓝宝石衬底和氮化镓LED层;步骤2:在氮化镓LED层上采用电镀或键合的方法制作一转移衬底;步骤3:减薄转移衬底,然后抛光;步骤...
汪炼成
郭恩卿
刘志强
伊晓燕
王国宏
一种氮化镓薄膜的大面积连续无损激光剥离方法
本发明公开了一种氮化镓薄膜的大面积连续无损激光剥离方法,该方法包括:取在蓝宝石衬底上生长了氮化镓薄膜的外延片;在氮化镓薄膜的表面沉积过渡层;在过渡层表面制作转移衬底;以及采用步进扫描方式的长条形激光光斑扫描照射整个抛光过...
郭恩卿
伊晓燕
刘志强
王国宏
王军喜
李晋闽
文献传递
半导体发光器件及其制造方法
本发明提供了一种半导体发光器件及其制造方法。该半导体发光器件,包括:第二电极;第一掺杂类型的第一半导体层,与第二电极电性连接;有源层,形成于第一半导体层上;第二掺杂类型的第二半导体层,形成于有源层上;第一掺杂类型的第一简...
郭恩卿
伊晓燕
王国宏
刘志强
文献传递
栅极调制正装结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法
一种栅极调制正装结构GaN基发光二极管结构,包括:一蓝宝石衬底;一n型GaN层,该n型GaN层制作在蓝宝石衬底上,该n型GaN层上面的一侧形成有一台面,该台面的深度小于n型GaN层的厚度;一多量子阱有源层,该多量子阱有源...
刘志强
郭恩卿
伊晓燕
汪炼成
王国宏
李晋闽
自支撑氮化镓衬底的制作方法
本发明提供一种自支撑氮化镓衬底的制作方法,其中包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底上生长一层薄膜层;步骤3:在薄膜层上生长一层纳米薄膜,得到一基片;步骤4:对基片进行退火,退火后使基片上的纳米薄膜形成纳米颗粒,...
孙波
伊晓燕
刘志强
汪炼成
郭恩卿
王国宏
一种微LED器件阵列单元的制作方法
本发明公开了一种微LED器件阵列单元的制作方法以及利用微LED器件阵列单元制造显示屏的方法。该微LED器件阵列单元的制作方法,包括:制作微LED台面阵列;在每个微LED台面上分别制作p、n电极,并在p、n电极上覆盖阻挡层...
郭恩卿
伊晓燕
刘志强
王良臣
王军喜
李晋闽
文献传递
GaN基薄膜芯片的制造方法
一种GaN基薄膜芯片的制造方法,包括:1)在一蓝宝石衬底上生长外延层,该外延层包括N型层、活性层和P型层;2)在外延层上制作反射层;3)在反射层上涂覆第一树脂层;4)在第一树脂层上粘合第一临时基板,并固化;5)对蓝宝石衬...
刘硕
郭恩卿
伊晓燕
王军喜
李晋闽
栅极调制正装结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法
一种栅极调制正装结构GaN基发光二极管结构,包括:一蓝宝石衬底;一n型GaN层,该n型GaN层制作在蓝宝石衬底上,该n型GaN层上面的一侧形成有一台面,该台面的深度小于n型GaN层的厚度;一多量子阱有源层,该多量子阱有源...
刘志强
郭恩卿
伊晓燕
汪炼成
王国宏
李晋闽
文献传递
自支撑氮化镓衬底的制作方法
本发明提供一种自支撑氮化镓衬底的制作方法,其中包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底上生长一层薄膜层;步骤3:在薄膜层上生长一层纳米薄膜,得到一基片;步骤4:对基片进行退火,退火后使基片上的纳米薄膜形成纳米颗粒,...
孙波
伊晓燕
刘志强
汪炼成
郭恩卿
王国宏
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晶圆级垂直结构发光二极管封装的方法
一种晶圆级垂直结构发光二极管封装的方法,包括:步骤1:在绝缘的衬底上通过光刻,电子束蒸发方法制作图形金属电极;步骤2:在绝缘衬底上的金属电极的位置植金球,该金球为间隔设置,将已划裂分选的芯片焊接在植金球的金属电极的位置;...
汪炼成
郭恩卿
谢海忠
伊晓燕
王国宏
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