赖秀红
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：惠州学院化学工程系更多>>
- 发文基金：广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学更多>>
- 超高致密度氧化锌铝陶瓷靶的研究
- 2013年
- 采用冷压-烧结法制备掺铝氧化锌(AZO)陶瓷靶材。用正交试验法设计实验,探究WAl O2 3(%)、压机压力(MPa)、烧结温度(℃)和烧结时间(h)四个因素对相对密度的影响,确定最佳的WAl O2 3(%)、压力(MPa)、烧结温度(℃)以及烧结时间(h)。研究结果发现,四个因素对相对密度的影响程度大小依次为:烧结温度>>压力>WAl 2 O3>烧结时间;最佳的工艺组合为WAl O2 34%、压力10Mpa、烧结温度1300℃和烧结时间2h。在此条件下,靶材的相对密度最大,可达到97%左右。
- 童义平赖秀红何午琳
- 关键词：陶瓷靶材正交试验
- AZO超高致密度化工艺研究被引量：2
- 2013年
- 以ZnO和Al2O3为原料,采用冷压成型-高温烧结致密的方法制备超高致密度的AZO靶材。通过实验优化得到的最佳制备AZO靶材的工艺参数是:WAl2O3为2%、锻压压力11MPa、高温烧结温度1200℃,烧结时间5小时,按此条件,制备的AZO靶材相对密度最大(96.63%)。其次是:WAl2O3为4%、锻压压力13MPa、高温烧结温度1300℃、烧结时间2小时,得到的AZO靶材相对密度96.04%。
- 童义平赖秀红黄秀娟
- 关键词：靶材AZO透明导电薄膜致密化
