黄秀娟
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 供职机构：惠州学院化学工程系更多>>
- 发文基金：广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金广东省教育部产学研结合项目更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- AZO陶瓷靶材粉体冷压-烧结致密化研究被引量：3
- 2013年
- 采用冷压-烧结法制备氧化锌铝陶瓷靶材(ZnO:Al,简称AZO靶材)。用正交实验法设计实验,探讨氧化铝质量分数、压制靶材的压力、烧结温度和烧结时间对靶材致密度的影响,确定最佳制备工艺参数。研究结果表明最佳制备工艺参数是:氧化铝质量分数为4%,压制靶材的压力为11 MPa,烧结温度为1300℃,烧结时间为2 h。在此条件下,靶材的相对密度可达98%以上,即可实现AZO靶材的超高致密度化。
- 童义平黄秀娟何午琳
- AZO超高致密度化工艺研究被引量：2
- 2013年
- 以ZnO和Al2O3为原料,采用冷压成型-高温烧结致密的方法制备超高致密度的AZO靶材。通过实验优化得到的最佳制备AZO靶材的工艺参数是:WAl2O3为2%、锻压压力11MPa、高温烧结温度1200℃,烧结时间5小时,按此条件,制备的AZO靶材相对密度最大(96.63%)。其次是:WAl2O3为4%、锻压压力13MPa、高温烧结温度1300℃、烧结时间2小时,得到的AZO靶材相对密度96.04%。
- 童义平赖秀红黄秀娟
- 关键词：靶材AZO透明导电薄膜致密化
