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谢新华

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学技术大学更多>>
发文基金:国家基础科学人才培养基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇直流辉光
  • 1篇质谱
  • 1篇气相
  • 1篇辉光
  • 1篇CH
  • 1篇H

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇郑仕健
  • 1篇李唤
  • 1篇谢新华
  • 1篇杨宽
  • 1篇丁芳
  • 1篇朱晓东
  • 1篇张一川
  • 1篇汤中亮

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2013
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
高气压直流辉光CH_4/H_2等离子体的气相过程诊断被引量:1
2013年
对高气压(约100Torr)直流辉光碳氢等离子体的气相过程进行了光谱和质谱原位诊断.在高气压下,等离子体不同区域光发射特性存在明显差异.正柱区存在着以C2和CH为主的多个带状谱和分立谱线,阳极区粒子发射谱线明显减少,而在阴极区则出现大量复杂的光谱成分,表明高气压情形下等离子体与阴极间强烈的相互作用将导致复杂的原子分子过程.从低气压到高气压演变过程中,电子激发温度降低而气体分子转动温度升高.在高气压下,高甲烷浓度导致C2,C2H2及C2H4增多而C2H6减少.表明在高气压条件下,气体温度对气相过程的影响作用显著增强.
郑仕健丁芳谢新华汤中亮张一川李唤杨宽朱晓东
关键词:质谱
共1页<1>
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