汤中亮
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
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- 相关领域：理学更多>>
- 微波ECR氮-氩等离子体离子特征及制备FeN磁性薄膜的研究
- <正>在等离子体材料加工过程中,离子起着不可或缺的作用,在包括离子注入、等离子体刻蚀与沉积在内的等离子体工艺中都扮演着关键的角色。了解放电所产生的各种离子的行为,包括离子的种类、能量分布等参数,对于材料的表面形貌、结构乃...
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- 文献传递
- 高气压直流辉光CH_4/H_2等离子体的气相过程诊断被引量：1
- 2013年
- 对高气压(约100Torr)直流辉光碳氢等离子体的气相过程进行了光谱和质谱原位诊断.在高气压下,等离子体不同区域光发射特性存在明显差异.正柱区存在着以C2和CH为主的多个带状谱和分立谱线,阳极区粒子发射谱线明显减少,而在阴极区则出现大量复杂的光谱成分,表明高气压情形下等离子体与阴极间强烈的相互作用将导致复杂的原子分子过程.从低气压到高气压演变过程中,电子激发温度降低而气体分子转动温度升高.在高气压下,高甲烷浓度导致C2,C2H2及C2H4增多而C2H6减少.表明在高气压条件下,气体温度对气相过程的影响作用显著增强.
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- 关键词：质谱
- 高气压直流等离子体放电特性和材料应用研究
- <正>我们建立了一套高气压脉冲直流辉光等离子体产生装置,它可在气压为100Torr-200Torr的范围内,在氢气、甲烷和氩气的混合气体中产生功率约15kW,最大直径80mm的辉光放电等离子体,并可连续稳定运行600小时...
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- 文献传递
- 低气压阴极弧斑等离子体除去钢表面氧化层的实验研究
- 2014年
- 进行了低气压下直流阴极弧斑等离子体去除钢铁表面氧化层(除鳞)的实验研究,利用高速相机和示波器对放电过程进行了诊断。实验表明,阴极弧斑在样品表面快速随机运动。由于弧斑具有极高的电流密度,产生的局部高温使阴极弧斑下方的氧化层被瞬间蒸发、分解。除鳞后样品表面X射线衍射和扫描电镜分析表明,弧斑等离子体能有效地除去钢铁表面氧化层。放电电流是决定除鳞快慢的一个重要参数,单位时间除鳞的面积随放电电流的增大而增加,呈现线性关系,这与依据非静态爆裂ecton模型给出的分析结果相符合。
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- 关键词：等离子体氧化层除鳞
- 微波ECR氮-氩等离子体离子特征及制备FeN磁性薄膜的研究
- 在等离子体材料加工过程中,离子起着不可或缺的作用,在包括离子注入、等离子体刻蚀与沉积在内的等离子体工艺中都扮演着关键的角色。了解放电所产生的各种离子的行为,包括离子的种类、能量分布等参数,对于材料的表面形貌、结构乃至材料...
- 张一川谢新华郑仕健汤中亮李唤朱晓东
