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王培森
作品数:
2
被引量:6
H指数:2
供职机构:
福州大学物理与信息工程学院
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发文基金:
福建省科技重点项目
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
彭慧耀
福州大学物理与信息工程学院电子...
罗仲梓
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术...
于映
福州大学物理与信息工程学院电子...
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电子电信
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保护层
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RF-MEM...
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硅
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MEMS开关
机构
2篇
福州大学
2篇
厦门大学
作者
2篇
王培森
2篇
于映
2篇
罗仲梓
2篇
彭慧耀
传媒
1篇
传感技术学报
1篇
微纳电子技术
年份
1篇
2007
1篇
2006
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硅/玻璃键合技术在RF-MEMS开关制作中的应用
被引量:3
2007年
介绍了一种新的RF-MEMS开关制作工艺,利用静电键合技术将表面微加工工艺与体硅加工工艺结合在一起完成开关上下电极的组合;说明了如何在普通环境下进行图形对准;通过静电力的理论计算和键合试验,分析了铝台阶对硅/玻璃静电键合的影响,得出铝台阶厚度低于100nm时键合效果较好;对有无铝台阶时的静电键合电流特性进行比较,分析了硅/玻璃界面电荷分布及其运动情况,为RF-MEMS开关的设计与制作提供了有意义的参考。
王培森
于映
罗仲梓
彭慧耀
关键词:
电流特性
电荷分布
聚酰亚胺(PI)树脂在电容式RF MEMS开关制作中的应用
被引量:3
2006年
聚酰亚胺树脂(PI)因其良好的平面化特性、在氧气中易灰化、不完全固化易溶解于碱性显影液、在CHF3等离子气氛中有较强的抗蚀性等性质,在电容RFMEMS开关的制作过程中,应用它作为刻蚀保护层和牺牲层,不但可以使工艺过程得到简化,而且可以对开关的介质层尺寸、牺牲层厚度等图形参数起到很好的控制作用.
彭慧耀
于映
罗仲梓
王培森
关键词:
聚酰亚胺
光刻
牺牲层
保护层
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