战俊生
- 作品数:10 被引量:1H指数:1
- 供职机构:沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
- 相关领域:理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜
- 本实用新型属半导体集成电路制造领域,特别涉及一种紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜,包括非球面基片(1)及交替叠置多层非周期膜;所述交替叠置多层非周期膜沉积于非球面基片(1)的内表面;交替叠置多层非周期膜包括高折射率镀...
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- 文献传递
- 数字电影用反光镜
- 2013年
- 本文阐述了精密光学反光镜原理,介绍了数字电影用反光镜的加工技术难度,讲解了精密光学反光镜的使用及维护方法。
- 王银河高子涵战俊生张岳
- 关键词:数字电影
- 紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜及其镀制方法
- 本发明属半导体集成电路制造领域,特别涉及一种紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜及其镀制方法,包括非球面基片(1)及交替叠置多层非周期膜;所述交替叠置多层非周期膜沉积于非球面基片(1)的内表面;交替叠置多层非周期膜包括高...
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- 影院用易清洁镀膜窗口玻璃及其制作方法
- 本发明属影院放映设施领域,具体涉及一种电影放映窗口用易清洁镀膜窗口玻璃及其制作方法,包括浮法玻璃(1);在浮法玻璃(1)的上下两面设有过渡层(2);在过渡层(2)上依次设有缓冲层(3)及易清洁薄膜(4);制作方法包括:a...
- 宋光辉王银河姚春龙战俊生雷鹏刘新华
- 文献传递
- 固定角度光学薄膜反射率测试装置
- 本实用新型属光学薄膜器件反射率测量装置领域,尤其涉及一种固定角度光学薄膜反射率测试装置,它包括固定架(3);在固定架(3)内对称设有光纤探头插入孔(8);在光纤探头插入孔(8)的底部沿光路方向设有通光孔(4);在固定架(...
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- 数字电影光学反光镜组合结构组装用点胶机
- 本实用新型属点胶机领域,特别是涉及一种数字电影光学反光镜组合结构组装用点胶机,它包括底座(1)、胶筒支架(12)及胶筒(13);在底座(1)上装有驱动电机(2)及转轴(3);在转轴(3)端部固定设有托盘(4);驱动电机(...
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- 影院用高透光性/长寿命/易清洁放映玻璃
- 本实用新型属影院建材领域,尤其涉及一种影院用高透光性/长寿命/易清洁放映玻璃,它包括基片(1)及多层宽带增透膜;所述多层宽带增透膜对称附在基片(1)的双面;所述基片(1)采用超白玻璃;所述多层宽带增透膜依次包括Al<Su...
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- 反光镜测试中曲面数据采集及拟合被引量:1
- 2012年
- 为了求得未知椭球曲面的曲线方程,模拟曲面的几何结构,以数字投影系统中椭球反光镜为例,介绍了大口径非球面反光镜数据采集及拟合方法。利用三坐标测量机(CMM)对椭球反光镜面型进行精密测量,根据测试数据,采用数学拟合方法获得椭球反光镜的曲线方程。并对测试模型与拟合曲面进行了光线追迹和误差分析,拟合曲面与测试曲面符合较好。因此,采用三坐标测量机进行曲面数据采集及数学方法拟合,能够得到较理想的拟合曲面方程。
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- 关键词:三坐标测量机曲面拟合
- 紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜及其镀制方法
- 本发明属半导体集成电路制造领域,特别涉及一种紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜及其镀制方法,包括非球面基片(1)及交替叠置多层非周期膜;所述交替叠置多层非周期膜沉积于非球面基片(1)的内表面;交替叠置多层非周期膜包括高...
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- 影院用易清洁镀膜窗口玻璃及其制作方法
- 本发明属影院放映设施领域,具体涉及一种电影放映窗口用易清洁镀膜窗口玻璃及其制作方法,包括浮法玻璃(1);在浮法玻璃(1)的上下两面设有过渡层(2);在过渡层(2)上依次设有缓冲层(3)及易清洁薄膜(4);制作方法包括:a...
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