姚春龙
- 作品数:42 被引量:9H指数:1
- 供职机构:沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
- 发文基金:科技部科研院所技术开发研究专项科研院所技术开发研究专项资金更多>>
- 相关领域:理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜
- 本实用新型属半导体集成电路制造领域,特别涉及一种紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜,包括非球面基片(1)及交替叠置多层非周期膜;所述交替叠置多层非周期膜沉积于非球面基片(1)的内表面;交替叠置多层非周期膜包括高折射率镀...
- 宋光辉姚春龙王银河刘新华战俊生李文龙雷鹏
- 文献传递
- 光学非球面零件机器人抛光工具的研究
- 2020年
- 以高硼玻璃零件为研究对象,自主研制设计了一种光学抛光加工的工具,可抛光非球面凹面光学零件;分析了机器人抛光工具的构成以及进动运动方式和抛光加工的原理。根据实际生产情况,抛光工具结合机器人对非球面零件凹面进行抛光加工,得到了较好的实验结果。表明这套抛光工具是一种实用的、经济的,可以用于光学非球面的高精度抛光,为应用机器人做光学非球面零件柔性抛光提供了一种有效的途径。
- 刘海涛李野姚春龙孙朝阳王银河
- 关键词:机器人非球面
- 曲面光学薄膜元件反射率测量方法
- 本发明属光学薄膜元件参数测量领域,尤其涉及一种曲面光学薄膜元件反射率测量方法,按如下步骤实施:a、开启恒流光源,测试参数设置;b、进行标准标定;c、恒流光源发出的光经过聚焦后进入光纤接收端;经过光纤透镜后形成出射平行光,...
- 王银河宋光辉姚春龙刘海涛李明华李野
- 文献传递
- 数字电影反光镜3D扫描面形检测与评价
- 2013年
- 通过3D扫描的方法,对椭球反光镜的面形进行了检测,并与标准椭球面形进行最佳拟合对比,以E210反光镜为例。结果表明:3D扫描能够完成椭球反光镜的检测,E210反光镜在底孔部位存在加工过量,在端口部位存在近似"十字形"对称的加工不足的现象,加工误差范围为-0.06mm~+0.08mm,符合轮廓度误差±0.1mm的要求。3D扫描点云能够进行逆向反求并建立实际反射面模型,进一步模拟反光镜的反射光斑形状、大小等参数,模拟结果与检测结果一致。
- 吕少波王银河雷鹏姚春龙高鹏阴晓俊
- 关键词:3D扫描
- 基于MATLAB语言的膜系模拟堆积
- 2005年
- 文中提出了如何实现膜系反射率图像模拟,通过 MATLAB 语言实现整个模拟程序的编制,结合该程序的功能实现一个多层膜系模拟图像的输出。程序编制简便、功能完善、修改方便。解决了多层膜模拟计算中复数和矩阵计算繁琐的问题。
- 王银河姚春龙张辉
- 关键词:光学薄膜MATLAB语言模拟程序
- 椭球反光镜反射照度测量装置
- 本实用新型属于反光镜照度测量装置领域,尤其涉及一种旋转对称椭球反光镜反射照度测量装置,它包括水平刻度平台(1);在水平刻度平台(1)上设有椭球反光镜组件、小型光源组件及照度测量组件;所述小型光源组件的小型光源(4)置于椭...
- 吕少波姚春龙王银河刘新华高子涵孙朝阳
- 文献传递
- 非球面光学元件的智能柔性抛光方法及其所采用的智能柔性抛光装置
- 本发明属光学加工技术领域,尤其涉及一种非球面光学元件的智能柔性抛光方法及其所采用的智能柔性抛光装置。智能柔性抛光方法包括(1)机器人通过传感器扫描工件采集工件特征信息;(2)机器人控制系统确定抛光理论轨迹;(3)抛光机构...
- 刘海涛王银河李野赵陨李文龙孙朝阳姚春龙刘新华
- 文献传递
- 近紫外冷反射镜的镀制研究被引量:7
- 2007年
- 为充分利用紫外光源系统中所需要的有用的紫外光,同时减少红外光照射,根据常用紫外光源的发光特性、能量曲线分析,通过真空镀膜技术,在玻璃基片表面镀制多层硬质光学薄膜,制备出了对中紫外光谱区域的反射率高于90%,同时可见及红外区域的平均透过率在85%以上的近紫外冷反射镜。
- 姚春龙王银河张辉
- 关键词:紫外光源真空镀膜膜系
- 非球面玻璃反光镜表面缺陷透射法检验装置
- 本实用新型属光学薄膜元件检验领域,尤其涉及一种非球面玻璃反光镜表面缺陷透射法检验装置,在箱体(1)的底部固定设有旋转机构;在旋转机构的上部水平固定设有夹具盘(5);在夹具盘(5)上固定扣接反光镜(3);旋转机构包括底座(...
- 姚春龙张勇喜宋光辉李明华王银河刘海涛
- 文献传递
- 紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜及其镀制方法
- 本发明属半导体集成电路制造领域,特别涉及一种紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜及其镀制方法,包括非球面基片(1)及交替叠置多层非周期膜;所述交替叠置多层非周期膜沉积于非球面基片(1)的内表面;交替叠置多层非周期膜包括高...
- 宋光辉姚春龙王银河刘新华战俊生李文龙雷鹏